Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir stiprų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, užtikrinančią puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius →
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
„Semicorex SiC“ įleidimo žiedai yra aukštos kokybės silicio karbido komponentai, sukurti puslaidininkių perdirbimo įrangai, siūlanti išskirtinį šiluminį stabilumą, cheminį pasipriešinimą ir tikslų apdirbimą. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia prieigą prie patikimų, pritaikytų ir be užteršimo sprendimų, kuriais pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Sic Arm“ yra didelio grynumo silicio karbido komponentas, skirtas tiksliam vaflių tvarkymui ir padėties nustatymui puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus „Semicorex“ užtikrinamas neprilygstamas medžiagų patikimumas, cheminis pasipriešinimas ir tikslumo inžinerija, palaikanti reikliausius puslaidininkių procesus.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ pirštai yra tikslūs inžinerijos komponentai, pagaminti iš aukšto grynumo silicio karbido, skirtų atlikti kraštutinius puslaidininkių gamybos reikalavimus. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia prieigą prie patobulintos medžiagos patirties, didelio tikslumo apdorojimo ir patikimų sprendimų, kuriais pasitikite kritinėmis vaflių tvarkymo programomis.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Sic“ dangtis yra didelio grynumo silicio karbido komponentas, sukurtas ekstremalioms puslaidininkių perdirbimo aplinkoms. Pasirinkti „Semicorex“ reiškia neprilygstamos medžiagos kokybės, tikslumo inžinerijos ir pasirinktinių sprendimų, kuriais pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai visame pasaulyje, užtikrinimą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ silicio elektrodai yra aukštos kokybės komponentai, sujungiantys efektyvų elektros laidumą su tiksliomis dujų pasiskirstymo galimybėmis. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia bendradarbiavimą su patikimu ekspertu, kuris teikia aukščiausios kokybės, pažangių gamybos metodų ir patikimų, pritaikomų silicio elektrodų sprendimų, pritaikytų jūsų specifiniams poreikiams.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Silicon“ valtys yra didelio grynumo silicio laikikliai, skirti kristalų augimui, puslaidininkių ir fotoelektrinių gamybos procesams, užtikrinanti išskirtinį šiluminio stabilumo ir užteršimo kontrolę. Pasirinkti „Semicorex“ reiškia prieigą prie tikslaus inžinerijos valčių, pagamintų griežtai kontroliuojant kokybę, kad būtų užtikrintas nuoseklus našumas sunkiausioje aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą