Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir stiprų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, užtikrinančią puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius →
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex SiC proceso vamzdeliai yra pagaminti iš didelio grynumo SiC keramikos su CVD SiC danga, tinka horizontalioms krosnims puslaidininkiuose. Atsižvelgiant į produkto kokybę ir aptarnavimą po pardavimo, Semicorex nori užmegzti aukštos kokybės verslą su savo klientais visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex didelio grynumo SiC konsolinis irklas yra pagamintas iš didelio grynumo sukepintos SiC keramikos, kuri yra puslaidininkio horizontalios krosnies konstrukcinė dalis. Semicorex yra patyrusi įmonė, tiekianti SiC komponentus puslaidininkių pramonėje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąMonokristalinis silicio plokštuminis taikinys iš Semicorex yra esminis komponentas pažangiausioje puslaidininkių gamybos pramonėje. Pagaminta iš aukščiausios kokybės monokristalinio silicio medžiagos, ji pasižymi itin tvarkinga kristalų struktūra ir nepaprastu grynumu. Dėl šių savybių jis yra idealus sprendimas gaminant patikimas, aukštos kokybės puslaidininkines ir optines plėveles.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex silicio kasetinės valtys yra specializuoti laikikliai, pagaminti iš 99,9999999% didelio grynumo monokristalinio ir polikristalinio silicio, ypač orientuoti į aukšto lygio puslaidininkių gamybą. Pasirinkę Semicorex, jūs gausite naudos iš patikimos kokybės, pritaikymo pagal poreikius paslaugas ir padidintą našumą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąIndividualiai pritaikytas porėtas keraminis griebtuvas yra puikus ruošinio suspaudimo ir tvirtinimo sprendimas, skirtas išskirtinai puslaidininkių gamybai. Pasirinkę Semicorex, jūs gausite naudos iš patikimos kokybės, pritaikymo pagal poreikius paslaugas ir padidintą našumą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąVieno kristalo silicio dušo galvutė, žinoma kaip dujų purškimo galvutė arba dujų paskirstymo plokšte, arba yra plačiai naudojamas dujų paskirstymo įtaisas puslaidininkių gamybos procesuose atliekant pagrindinius proceso etapus, tokius kaip valymas, ėsdinimas ir nusodinimas. Aukštos kokybės ir ekonomiškai efektyvi monokristalinė silicio dušo galvutė yra būtina norint pagerinti lustų gamybos tikslumą ir kokybę puslaidininkių pramonėje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą