Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir stiprų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, užtikrinančią puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius →
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
„Semicorex“ vieno kristalo silicio elektrodai yra ir elektrodai, ir ėsdinimo dujų keliai plokštelių ėsdinimo proceso metu. Semicorex monokristaliniai silicio elektrodai yra būtini silicio komponentai, specialiai sukurti aukščiausios klasės puslaidininkių ėsdinimo gamybai, o tai gali padėti pagerinti ėsdinimo tikslumą ir vienodumą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Contilever Paddles“ yra tiksliai suprojektuotas komponentas, skirtas aukštos temperatūros ir didelio grynumo puslaidininkių apdorojimui. „Semicorex“ siūlo aukštos kokybės konsolines irklas, atitinkančias griežtus pažangių plokštelių tvarkymo ir šilumos valdymo sistemų reikalavimus.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ silicio ėsdinimo žiedai yra tikslūs žiedo formos ėsdinimo komponentai, pagaminti iš didelio grynumo monokristalinio silicio. Tai pagrindinės silicio dalys, naudojamos plazminio ėsdinimo įrangoje, specialiai sukurtos optimalioms plazminio ėsdinimo sąlygoms sukurti. Pasirinkite Semicorex, rinkitės aukštos kokybės silicio ėsdinimo žiedus.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex krosnių vamzdžiai, skirti LPCVD, yra tiksliai pagaminti vamzdiniai komponentai su vienoda ir tankia CVD SiC danga. Specialiai suprojektuoti pažangiam žemo slėgio cheminio garų nusodinimo procesui, Semicorex krosnių vamzdžiai, skirti LPCVD, gali užtikrinti tinkamą aukštos temperatūros ir žemo slėgio reakcijos aplinką, kad pagerintų plokštelių plonasluoksnio nusodinimo kokybę ir išeigą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex CVD SiC dengti krosnių vamzdžiai yra aukščiausios klasės vamzdiniai komponentai, specialiai pagaminti puslaidininkių apdorojimui aukštoje temperatūroje, pavyzdžiui, puslaidininkinių plokštelių oksidacijai, difuzijai ir atkaitinimui. Pasitelkdama pažangias perdirbimo technologijas ir brandžią gamybos patirtį, „Semicorex“ yra įsipareigojusi mūsų vertinamiems klientams tiekti tiksliai apdirbtus CVD SiC dengtus krosnių vamzdžius, kurių kokybė yra pirmaujanti rinkoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC proceso vamzdeliai yra pagaminti iš didelio grynumo SiC keramikos su CVD SiC danga, tinka horizontalioms krosnims puslaidininkiuose. Atsižvelgiant į produkto kokybę ir aptarnavimą po pardavimo, Semicorex nori užmegzti aukštos kokybės verslą su savo klientais visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą