Dujų įleidimo žiedai naudojami plokštelės kraštui ir perimetrui uždengti, saugant svarbiausius kameros komponentus, kad būtų sukurta švari, inertiška ir apsaugota aplinka bei prailginamas jų naudojimo laikas nusodinimo kamerose, todėl nusodinimo ar plokštelių apdorojimo metu jie yra veikiami plazmos ir aukštos temperatūros. , todėl stiprus plazmos patvarumas ir didelis grynumas yra labai svarbūs galutinei plokštelių išeigai.
Semicorex CVD SiC padengti žiedai, sukurti specialiai šioms sudėtingoms epitaksinės įrangos reikmėms.
„Semicorex SiC“ įleidimo žiedai yra aukštos kokybės silicio karbido komponentai, sukurti puslaidininkių perdirbimo įrangai, siūlanti išskirtinį šiluminį stabilumą, cheminį pasipriešinimą ir tikslų apdirbimą. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia prieigą prie patikimų, pritaikytų ir be užteršimo sprendimų, kuriais pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą