Kristalų augimo krosnis yra pagrindinė silicio karbido kristalų augimo įranga. Jis panašus į tradicinę kristalinę silicio klasės kristalų augimo krosnį. Krosnies struktūra nėra labai sudėtinga. Jį daugiausia sudaro krosnies korpusas, šildymo sistema, ritės perdavimo mechanizmas, vakuumo gavimo ir ma......
Skaityti daugiau