Kinija CVD krosnis Gamintojai, tiekėjai, gamykla

CVD krosnys, naudojamos cheminio garų nusodinimo (CVD) procesui. Cheminis nusodinimas garais – tai procesas, kurio metu ant pagrindo nusodinama plona plėvelė, naudojant cheminę reakciją tarp išgaruotų pirmtakų dujų ir įkaitinto paviršiaus.

CVD krosnys paprastai susideda iš vakuuminės kameros, dujų tiekimo sistemos, šildymo sistemos ir substrato laikiklio. Vakuuminė kamera naudojama orui ir kitoms dujoms pašalinti iš nusodinimo aplinkos, kad priemaišos netrukdytų nusodinimo procesui. Dujų tiekimo sistema tiekia pirmtakas dujas į pagrindo paviršių, kur jos reaguoja ir sudaro norimą ploną plėvelę. Šildymo sistema pašildo substratą iki reikiamos temperatūros, kad įvyktų reakcija. Substrato laikiklis naudojamas substratui laikyti nusodinimo proceso metu.

CVD procese pirmtakų dujos įvedamos į vakuuminę kamerą ir kaitinamos iki temperatūros, kurioje jos suyra ir reaguoja, sudarydamos ploną plėvelę ant šildomo pagrindo. Nusodinimo aplinkos temperatūra ir slėgis yra kruopščiai kontroliuojami, kad būtų užtikrintos norimos plėvelės savybės.

CVD krosnys plačiai naudojamos puslaidininkių pramonėje plonoms plėvelėms nusodinti mikroelektroninių prietaisų, tokių kaip integriniai grandynai ir saulės elementai, gamybai. Jie taip pat naudojami pažangių medžiagų, tokių kaip dangos, optiniai pluoštai ir superlaidininkai, gamyboje.