CVD cheminio garų nusodinimo krosnys

Semicorex CVD cheminio garų nusodinimo krosnys, skirtos CVD ir CVI, yra naudojamos medžiagoms nusodinti ant pagrindo. Reakcijos temperatūra iki 2200°C. Masės srauto valdikliai ir moduliuojantys vožtuvai koordinuoja reagento ir nešiklio dujas, tokias kaip N, H, Ar, CO2, metanas, silicio tetrachloridas, metiltrichlorsilanas ir amoniakas. Nusodintos medžiagos yra silicio karbidas, pirolitinė anglis, boro nitridas, cinko selenidas ir cinko sulfidas. CVD cheminio garų nusodinimo krosnys turi tiek horizontalias, tiek vertikalias struktūras.

Taikymas:SiC danga C/C kompozitinei medžiagai, SiC danga grafitui, SiC, BN ir ZrC danga pluoštui ir kt.

Semicorex CVD cheminio garų nusodinimo krosnių savybės

1.Tvirtas dizainas, pagamintas iš aukštos kokybės medžiagų, skirtas ilgalaikiam naudojimui;

2. Tiksliai kontroliuojamas dujų tiekimas naudojant masės srauto reguliatorius ir aukštos kokybės vožtuvus;

3. Įrengtos saugos funkcijos, tokios kaip apsauga nuo perkaitimo ir dujų nuotėkio aptikimas, kad būtų užtikrintas saugus ir patikimas veikimas;

4. Naudojant kelias temperatūros valdymo zonas, didelis temperatūros vienodumas;

5. Specialiai suprojektuota nusodinimo kamera, turinti gerą sandarinimo efektą ir puikias apsaugos nuo užteršimo savybes;

6. Naudojant kelis nusodinimo kanalus su vienodu dujų srautu, be nusodinimo negyvų kampų ir tobulo nusodinimo paviršiaus;

7. Nusodinimo proceso metu jis apdoroja dervą, kietas dulkes ir organines dujas

*Aukščiau nurodyti parametrai gali būti koreguojami pagal proceso reikalavimus, jie nėra priimtinumo standartai, detalių specifikacija. bus nurodyta techniniame pasiūlyme ir sutartyse.