Kinija Dušo galvutė Gamintojai, tiekėjai, gamykla

SiC (silicio karbido) dušo galvutė yra specializuotas komponentas, naudojamas įvairiuose pramonės procesuose, ypač puslaidininkių gamybos pramonėje. Jis skirtas tolygiai ir tiksliai paskirstyti ir tiekti proceso dujas cheminio nusodinimo garais (CVD) ir epitaksinio augimo procesų metu.

Dušo galvutė yra disko arba plokštės formos su keliomis tolygiai paskirstytomis angomis arba antgaliais ant jos paviršiaus. Šios angos tarnauja kaip proceso dujų išleidimo angos, leidžiančios jas įpurkšti į proceso kamerą arba reakcijos kamerą. Skylių dydis, forma ir pasiskirstymas gali skirtis priklausomai nuo konkrečių taikymo ir proceso reikalavimų.

Vienas iš pagrindinių SiC dušo galvutės privalumų yra puikus šilumos laidumas. Ši savybė užtikrina efektyvų šilumos perdavimą ir vienodą temperatūros pasiskirstymą visame dušo galvutės paviršiuje, užkertant kelią karštoms vietoms ir užtikrinant vienodas proceso sąlygas. Padidintas šilumos laidumas taip pat leidžia greitai atvėsinti dušo galvutę po proceso, sumažinant prastovų laiką ir padidinant bendrą produktyvumą.

SiC dušo galvutės yra labai patvarios ir atsparios nusidėvėjimui, net ir ilgai veikiant korozinėms dujoms ir aukštai temperatūrai. Dėl šio ilgaamžiškumo pailgėja techninės priežiūros intervalai ir sutrumpėja įrangos prastovos laikas, todėl sutaupoma lėšų ir pagerėjo proceso patikimumas.

Be tvirtumo, SiC dušo galvutės pasižymi puikiomis dujų paskirstymo galimybėmis. Tiksliai suprojektuoti skylių raštai ir konfigūracijos užtikrina vienodą dujų srautą ir pasiskirstymą pagrindo paviršiuje, skatina nuoseklų plėvelės nusodinimą ir pagerina įrenginio veikimą. Tolygus dujų pasiskirstymas taip pat padeda sumažinti plėvelės storio, sudėties ir kitų svarbių parametrų svyravimus, o tai prisideda prie geresnio proceso valdymo ir derlingumo.

Semicorex siūlo mažos varžos sukepinto silicio karbido puslaidininkinę dušo galvutę.  Mes turime galimybę pagal užsakymą sukurti ir tiekti pažangias keramines medžiagas, naudodami įvairias unikalias galimybes.