Metalinė dušo galvutė, žinoma kaip dujų paskirstymo plokštė arba dujų dušo galvutė, yra labai svarbus komponentas, plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose. Pagrindinė jos funkcija yra tolygiai paskirstyti dujas reakcijos kameroje, užtikrinant, kad puslaidininkinės medžiagos tolygiai liestųsi su procesu. dujos.**
Metalinė dušo galvutė plačiai naudojama įvairiuose puslaidininkių procesuose, įskaitant fizinį nusodinimą iš garų (PVD), cheminį nusodinimą iš garų (CVD), plazmos pagerintą CVD (PECVD), epitaksiją (EPI) ir ėsdinimą. Šie procesai yra esminiai integrinių grandynų gamyboje, o dušo galvutė yra pagrindinė dujų paskirstymo mechanizmo sudedamoji dalis atliekant kiekvieną iš šių operacijų. Tikslus ir tolygus dujų srautas, kurį užtikrina dušo galvutė, užtikrina optimalų nusodinimą arba ėsdinimą, sumažina defektų tikimybę ir pagerina šių procesų metu susidarančių plėvelių ar sluoksnių konsistenciją.
Viena iš išskirtinių Semicorex metalinės dušo galvutės savybių yra jos didelis tikslumas ir švara. Prietaisas sukurtas taip, kad atitiktų aukščiausius tikslumo standartus, užtikrinant, kad dujų srautas būtų kruopščiai kontroliuojamas visame paviršiaus plote. Šis tikslus dujų paskirstymas tiesiogiai prisideda prie puslaidininkių gamybos tobulinimo, kai net ir mažiausias neatitikimas gali sukelti didelių defektų. Be to, dušo galvutė pagaminta laikantis itin aukštų švaros standartų, o tai labai svarbu siekiant išvengti užteršimo itin jautrioje puslaidininkių gamybos aplinkoje.
Metalinė dušo galvutė taip pat pasižymi daugiasluoksniu sudėtiniu paviršiaus apdorojimu. Semicorex naudoja įvairius paviršiaus apdailos būdus, įskaitant smėliavimą, anodavimą, nikelio valymą ir elektrinį poliravimą, kad pagerintų gaminio funkcionalumą ir ilgaamžiškumą. Kiekvienas iš šių apdorojimo būdų yra skirtas tam tikram tikslui: pavyzdžiui, smėliavimas užtikrina vienodą tekstūrą, o anodavimas suteikia papildomą atsparumą korozijai. Nikelio šepetys suteikia dar vieną apsaugos nuo cheminių reakcijų sluoksnį, o elektrinis poliravimas užtikrina lygų, švarų paviršių, kuris sumažina dalelių susidarymo riziką operacijos metu. Dėl šių kombinuotų procedūrų dušo galvutė yra ypač atspari nusidėvėjimui, korozijai ir užterštumui, todėl užtikrina ilgesnį eksploatavimo laiką ir patikimą veikimą.
„Semicorex“ pritaiko dušo galvutėms naudojamų žaliavų pasirinkimą, atsižvelgdama į konkrečius kiekvieno puslaidininkio proceso reikalavimus. Priklausomai nuo reikalingų eksploatacinių savybių, tokių kaip stiprumas, atsparumas korozijai ir stabilumas aukštoje temperatūroje, parenkami skirtingi lydiniai arba metalai, užtikrinantys optimalų dušo galvutės veikimą įvairiomis eksploatavimo sąlygomis. Pavyzdžiui, esant aukštai temperatūrai, parenkamos medžiagos, pasižyminčios puikiu terminiu stabilumu, kad būtų išvengta deformacijos ar skilimo laikui bėgant, užtikrinant, kad dujų pasiskirstymas išliktų tikslus viso proceso metu.
Apibendrinant galima pasakyti, kad Semicorex metalinė dušo galvutė yra pažangus dujų paskirstymo įrenginys, sukurtas taip, kad puslaidininkių gamyboje būtų užtikrintas didelis tikslumas, švarumas ir ilgaamžiškumas. Jo taikymas apima pagrindinius procesus, tokius kaip PVD, CVD, PECVD, EPI ir ėsdinimas, kur jis atlieka pagrindinį vaidmenį užtikrinant tolygų dujų srautą ir optimalų proceso efektyvumą. Dėl daugiasluoksnio gaminio paviršiaus apdorojimo ir pritaikomo medžiagų pasirinkimo jis yra labai atsparus korozijai, gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir pakankamai patvarus, kad būtų užtikrintas ilgalaikis naudojimas kritinėse gamybos aplinkose. Integruodami Semicorex Metallic dušo galvutę į savo procesus, puslaidininkių gamintojai gali pasiekti didesnį derlių, geresnę produktų kokybę ir didesnį veiklos efektyvumą.