Plonas puslaidininkinės medžiagos gabalas vadinamas plokštele, sudaryta iš labai grynos vieno kristalo medžiagos. Czochralskio procese cilindrinis labai gryno monokristalinio puslaidininkio luitas gaminamas iš lydalo ištraukiant sėklinį kristalą.
Silicio karbidas (SiC) ir jo politipai ilgą laiką buvo žmogaus civilizacijos dalis; Techninį šio kieto ir stabilaus junginio susidomėjimą 1885 ir 1892 m. įgyvendino Cowless ir Acheson šlifavimo ir pjovimo tikslais, todėl jis buvo gaminamas dideliu mastu.
Dėl puikių fizinių ir cheminių savybių silicio karbidas (SiC) yra puikus kandidatas įvairioms reikmėms, įskaitant aukštos temperatūros, didelės galios ir aukšto dažnio bei optoelektroninius įrenginius, sintezės reaktorių struktūrinį komponentą, dujomis aušinamų apvalkalų medžiagą. dalijimosi reaktoriai ir inertinė matrica Pu transmutacijai. Įvairūs SiC tipai, tokie kaip 3C, 6H ir 4H, buvo plačiai naudojami. Jonų implantavimas yra labai svarbus būdas selektyviai įterpti priedus gaminant Si pagrindu pagamintus prietaisus, gaminant p tipo ir n tipo SiC plokšteles.
Luitastada supjaustoma, kad susidarytų silicio karbido SiC plokštelės.
Silicio karbido medžiagos savybės
Politipas |
Single-Crystal 4H |
Kristalinė struktūra |
Šešiakampis |
Bandgap |
3,23 eV |
Šilumos laidumas (n tipo; 0,020 omo-cm) |
a~4,2 W/cm • K @ 298 K c~3,7 W/cm • K @ 298 K |
Šilumos laidumas (HPSI) |
a~4,9 W/cm • K @ 298 K c~3,9 W/cm • K @ 298 K |
Grotelių parametrai |
a = 3,076 Å c = 10,053 Å |
Moho kietumas |
~9.2 |
Tankis |
3,21 g/cm3 |
Therm. Išsiplėtimo koeficientas |
4-5 x 10-6/K |
Įvairių tipų SiC plokštelės
Yra trys tipai:n tipo sic plokštelė, p tipo sic plokštelėirdidelio grynumo pusiau izoliuojanti sic plokštelė. Dopingas reiškia jonų implantavimą, kuris įveda priemaišų į silicio kristalą. Šie priedai leidžia kristalo atomams sudaryti joninius ryšius, todėl kadaise buvęs kristalas tampa išoriniu. Šis procesas įveda dviejų tipų priemaišas; N tipo ir P tipo. „Tipas“ priklauso nuo medžiagų, naudojamų cheminei reakcijai sukurti. Skirtumas tarp N tipo ir P tipo SiC plokštelių yra pagrindinė medžiaga, naudojama cheminei reakcijai sukelti dopingo metu. Priklausomai nuo naudojamos medžiagos, išorinė orbita turės penkis arba tris elektronus, iš kurių vienas įkrautas neigiamai (N tipo) ir vienas teigiamai įkrautas (P tipo).
N tipo SiC plokštelės daugiausia naudojamos naujose energetinėse transporto priemonėse, aukštos įtampos transmisijose ir pastotėse, buitinėse prekėse, greitųjų traukinių traukiniuose, varikliuose, fotovoltiniuose keitikliuose, impulsiniuose maitinimo šaltiniuose ir kt. įrangos patikimumą, sumažinant įrangos dydį ir gerinant įrangos veikimą, ir turi nepakeičiamų pranašumų gaminant galios elektroninius prietaisus.
Didelio grynumo pusiau izoliacinė SiC plokštelė daugiausia naudojama kaip didelės galios RF įrenginių substratas.
Epitaksija – III-V nitridų nusodinimas
SiC, GaN, AlxGa1-xN ir InyGa1-yN epitaksiniai sluoksniai ant SiC substrato arba safyro substrato.
„Semicorex“ 8 colių P tipo sic vafliai užtikrina puikų naujos kartos galios, RF ir aukštos temperatūros įrenginių našumą. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte aukščiausios kristalinės kokybės, pramonės lyderio vienodumo ir patikimos patirties pažengusiose SIC medžiagose.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ 12 colių pusiau įlinantys SiC substratai yra naujos kartos medžiaga, skirta aukšto dažnio, didelės galios ir didelio patikimumo puslaidininkių pritaikymui. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia bendradarbiavimą su patikimu SIC inovacijų lyderiu, įsipareigojimu pristatyti išskirtinę kokybę, tikslią inžineriją ir pritaikytus sprendimus, kad įgalintumėte pažangiausias jūsų įrenginių technologijas.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex N-Type SiC“ substratai ir toliau skatins puslaidininkių pramonę aukštesnio našumo ir mažesnio energijos suvartojimo, kaip pagrindinės medžiagos, kad būtų galima efektyviai konvertuoti energiją. „Semicorex“ produktus skatina technologinės naujovės, ir mes esame įsipareigoję klientams pateikti patikimus medžiagų sprendimus ir bendradarbiauti su partneriais, kad apibrėžtume naują ekologiškos energijos erą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Dummy Wafer“ yra specializuotas puslaidininkių gamybos įrankis, sukurtas visų pirma eksperimentams ir bandymams.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex 3C-SiC plokštelių substratas pagamintas iš SiC su kubiniu kristalu. Jau daugelį metų esame puslaidininkinių plokštelių gamintojai ir tiekėjai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex siūlo įvairių tipų 4H ir 6H SiC plokšteles. Jau daugelį metų esame vaflių gamintojai ir tiekėjai. Mūsų 8 colių N tipo SiC plokštelė turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą