SiC manekeno plokštelė

Pagrindinės SiC manekeno plokštelės charakteristikos

Universalus bandymas ir eksperimentavimas

SiC manekeno plokštelės yra būtinos įvairiuose puslaidininkių gamybos etapuose, nes yra saugi ir patikima priemonė išbandyti ir eksperimentuoti. Jie yra labai svarbūs gamybos proceso pradžioje, užtikrinant, kad visi parametrai būtų optimalūs prieš naudojant vertingas gamybos plokšteles.

Apsauga difuzijos procesuose

Difuzijos procesuose SiC dummy plokštelės vaidina lemiamą vaidmenį, nes apsaugo standartines silicio plokšteles. Ši apsauginė funkcija apsaugo nuo pažeidimų ir užteršimo, taip išsaugodama pirminių plokštelių vientisumą ir kokybę.

Matavimo tikslumas

Šios plokštelės yra kruopščiai naudojamos plėvelės storiui, atsparumui slėgiui ir atspindžio indeksui matuoti. Jie taip pat padeda aptikti pinball buvimą ir įvertinti modelio dydžius litografijoje, o tai labai prisideda prie proceso tikslumo ir defektų mažinimo.

SiC Dummy Wafer privalumai

Atsparumas aukštai temperatūrai dujoms

SiC Dummy Wafers pasižymi puikiu atsparumu aukštos temperatūros dujų atakoms, todėl yra tinkamos ekstremalioms sąlygoms. Šis atsparumas užtikrina pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aplinkoje.

Cheminis stabilumas

Cheminis SiC Dummy Wafers stabilumas leidžia jiems atlaikyti įvairias ėsdinančias medžiagas be degradacijos. Ši savybė yra būtina norint išlaikyti plokštelės vientisumą cheminio poveikio metu.

Paviršius be dalelių

SiC Dummy Wafers su lengvai valomu paviršiumi sumažina dalelių susidarymą, o tai labai svarbu norint išlaikyti aplinką be užteršimo. Ši savybė užtikrina aukštos kokybės rezultatus ir sumažina defektų riziką.

Ilgalaikis struktūrinis vientisumas

SiC manekeno plokštelės yra sukurtos taip, kad būtų atsparios lenkimui ir deformacijai laikui bėgant. Jų ilgaamžiškumas užtikrina, kad jie išliks patikimi per kelis bandymo ciklus, todėl sumažėja poreikis dažnai keisti.

Pritaikomos funkcijos

„Semicorex“ siūlo vartotojo apibrėžtą kiekvienos „SiC Dummy“ plokštelės seriją, leidžiančią pritaikyti dydį ir storį. Pasirinktinis graviravimas lazeriu dar labiau pašalina kryžminio užteršimo riziką, užtikrindamas aukštą grynumo ir patikimumo laipsnį.

Taikymas įvairiose pramonės šakose

Puslaidininkių gamyba

SiC manekeno plokštelės yra būtinos puslaidininkių gamyboje, ypač pradiniuose gamybos etapuose. Jie tarnauja kaip apsauginis barjeras, apsaugantis silicio plokšteles nuo galimo pažeidimo ir užtikrinantis proceso tikslumą.

Kokybės užtikrinimas ir testavimas

Siekiant užtikrinti kokybę, SiC Dummy Wafers yra labai svarbios atliekant pristatymo patikrinimus ir įvertinant proceso formas. Jie leidžia tiksliai išmatuoti tokius parametrus kaip plėvelės storis, atsparumas slėgiui ir atspindžio indeksas, taip prisidedant prie gamybos procesų patvirtinimo.

Litografija ir raštų patikra

Litografijoje šios plokštelės yra šablono dydžio matavimo ir defektų tikrinimo etalonas. Jų tikslumas ir patikimumas padeda pasiekti norimą geometrinį tikslumą, labai svarbų puslaidininkinio įrenginio funkcionalumui.

Tyrimai ir plėtra

Mokslinių tyrimų ir plėtros aplinkoje SiC Dummy Wafers lankstumas ir ilgaamžiškumas palaiko platų eksperimentavimą. Dėl jų gebėjimo atlaikyti griežtas bandymo sąlygas jie yra neįkainojami kuriant naujas puslaidininkių technologijas.