Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų. Galinis efektoriaus matmenys turi būti tikslūs ir termiškai stabilūs, o paviršius turi būti lygus, atsparus dilimui, kad būtų galima saugiai tvarkyti plokšteles, nepažeidžiant prietaisų ir nesukeliant užteršimo kietosiomis dalelėmis.
Semicorex didelio grynumo silicio karbido (SiC) dangos komponentai užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad epi sluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas.