Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų. Galinis efektoriaus matmenys turi būti tikslūs ir termiškai stabilūs, o paviršius turi būti lygus, atsparus dilimui, kad būtų galima saugiai tvarkyti plokšteles, nepažeidžiant prietaisų ir nesukeliant užteršimo kietosiomis dalelėmis.
Semicorex didelio grynumo silicio karbido (SiC) dangos komponentai užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad epi sluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas.
„Semicorex“ aliuminio oksido keraminė rankena yra didelio grynumo robotų komponentas, skirtas tiksliam ir užteršimo vaflių tvarkymui puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus „Semicorex“, užtikrinamas ne tik pažangios aliuminio oksido keraminės medžiagos kokybė, bet ir tikslus meistriškumas, užtikrinantis ilgaamžiškumą, švarą ir patikimumą kritinėse proceso aplinkose.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Sic Arm“ yra didelio grynumo silicio karbido komponentas, skirtas tiksliam vaflių tvarkymui ir padėties nustatymui puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus „Semicorex“ užtikrinamas neprilygstamas medžiagų patikimumas, cheminis pasipriešinimas ir tikslumo inžinerija, palaikanti reikliausius puslaidininkių procesus.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ pirštai yra tikslūs inžinerijos komponentai, pagaminti iš aukšto grynumo silicio karbido, skirtų atlikti kraštutinius puslaidininkių gamybos reikalavimus. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia prieigą prie patobulintos medžiagos patirties, didelio tikslumo apdorojimo ir patikimų sprendimų, kuriais pasitikite kritinėmis vaflių tvarkymo programomis.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą