Aliuminio oksido keraminė ranka

„Semicorex“ aliuminio oksido keraminė rankena yra inžinerijos komponentas, sukurtas pagal aukščiausias puslaidininkių taikymo specifikacijas. Pagaminta iš didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂o₃), tai yra robotinė ranka, pasižyminti unikaliu mechaninio stiprumo, šiluminio stabilumo ir cheminio atsparumo deriniu. ARM yra ne tik skirta naudoti vaflių tvarkymui atskirai, bet ir turi teikti proceso palaikymą pažengusiose gamybos vietose. Tai taip pat turi užtikrinti, kad vafliai būtų perduoti, išdėstyti ir perdirbti be užteršimo ar sugadinimo; Proceso pajamingumo ir patikimumo gerinimas.

Aliuminio oksidasyra viena iš techninių keramikų, kuriose dažniausiai naudojamas techninis keramikos lauke. Alium oksidas yra žinomas dėl savo kietumo, atsparumo dilimui ir stabilumui agresyvioje aplinkoje. Siekdama keraminės rankos tikslų valdyti vaflių tvarkymą neįvedant užteršimo, ji gali išnaudoti aliuminio oksido savybes ir suteikti daug didesnį atsparumą dilimui, nes yra jo aukšto grynumo ir dalelių dydžio; Todėl pakartotiniuose judesiuose jis nesukurs per didelių dalelių su vafliais arba su bet kokių kitų rūšių puslaidininkių substratais.  Tankis ir žemas poringumas, kurį jis taip pat turi, toliau riboja dalelių potencialą, kuris leidžiasi laisvai, ir užtikrina, kad jis atitiktų ypač švarų puslaidininkių vystymosi FAB reikalavimus, nesugadindamas švaros, reikalingos submikrono prietaisų tvarkymui.

Aliuminio oksidasbe mechaninio stiprumo turi išskirtinį šiluminį stabilumą. Aliuminio oksido keraminė rankena gali ištverti kraštutinę proceso temperatūrą, nesukeldamas deformacijos, įtrūkimo ar neprarandant jėgų. Dėl šios savybės idealiai įtraukiama į bet kokį proceso žingsnį, apimantį padidėjusią temperatūrą, pavyzdžiui, difuziją, oksidaciją ar atkaitos žingsnius. Vafliai bus pagerėję perkėlimo į sudėtingoje proceso aplinkoje patikimumą, nes jis išlaikys mechaninį vientisumą šiluminiame cikle.

Cheminis atsparumas yra dar vienas esminis aliuminio oksido keraminės rankos teigiamas teigiamas. Gaminant puslaidininkius, gydymas dažnai atliekamas vafliams, kuriuose yra stiprios rūgštys, šarmai ir kitos agresyvios cheminės medžiagos. Nors metaliniai komponentai gali koroduoti ar išplauti priemaišas, aliuminio oksidas yra chemiškai inertinis, kuris apsaugo tiek rankos, tiek vaflių, kurias ji tvarko, vientisumą. Todėl inertiškumas prailgina komponento eksploatavimo laiką, tuo pačiu sumažinant užteršimo galimybę kritinių proceso etapuose, tokiuose kaip šlapias valymas ar cheminis garų nusėdimas.

Aliuminio oksido keraminė rankena yra sukurta sutelkiant dėmesį į suderinamumą ir tikslumą. Kiekviena rankena yra pagaminta prie įtemptų matmenų nuokrypių, užtikrinant tikslų vaflių suderinimą ir judėjimą bei suderinamumą su automatine vaflių tvarkymo įranga ir robotų sistemomis. Lygus, poliruotas paviršiaus apdaila pasižymi maža trinties sąsaja su vafliu, kuri sumažina vaflio subraižymo tikimybę, o tai yra būtina vaflių vientisumui/aplinkos švarai ir defektų greičio sumažinimui. Šie inžineriniai nuokrypiai užtikrina, kad ranka laisvai veiktų greito tempo aukšto pralaidumo aplinkoje ir leidžia tiek žmogaus, tiek visiškai automatizuotų puslaidininkių darbo srautų už rankos.

Aliuminio oksido keraminė rankena pasiekia ne tik cheminius ir mechaninius našumą, bet ir įtaką darbo efektyvumui ir išlaidų taupymui keliais lygiais. Įrodytas patvarus keramikos pobūdis leidžia rankai aplenkti kompozicines medžiagas, tokias kaip plastikas ar aliuminis, atsižvelgiant į dizaino ilgaamžiškumą, esant pasikartojančiam mechaniniam apkrovai, todėl sumažina veiklos prastovos ir (arba) pakeitimo išlaidas. Gebėjimas atlaikyti atšiaurią aplinką apima aplinkos švarą, kartu sukuriant mažiau gamybos pertraukimų, dėl kurių pagerėja nuosekli vaflių gamyba, t. Y. Derlius ir galiausiai mažiau laužo, dėl kurio padidėja IG (investicijų grąža) puslaidininkių gamintojams.

Galimybės naudotiAliuminio oksido keramikaPuslaidininkių procesų ranka yra beveik begalinė - nuo vaflių judėjimo tarp šlapių suolelių, difuzijos krosnių ir nusėdimo kamerų iki tikrinimo ir metrologijos priemonių, naudojant substratą. Šio produkto universalumas ne tik leidžia jį naudoti vaflių tvarkymo programoms, bet ir tolesnėms automatizavimo situacijoms, kuriose taip pat įmanoma atlikti tikslumą, švarą ir patikimumą. Puslaidininkių pramonė neišvengiamai juda link mažesnių mazgų ir padidina prietaisų gamybos sudėtingumą, o pramonei ir toliau reikalauja geresnių patikimų ir neužterštų sprendimų, kurie yra patikimi ir neužteršiantys, keraminė robotinė ranka sukuria aiškų kelią į priekį.