TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių smulkiu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD).
Tantalo karbidas (TaC) yra junginys, susidedantis iš tantalo ir anglies. Jis pasižymi metaliniu elektriniu laidumu ir ypač aukšta lydymosi temperatūra, todėl tai ugniai atspari keraminė medžiaga, žinoma dėl savo stiprumo, kietumo ir atsparumo karščiui bei dilimui. Tantalo karbidų lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 ° C, priklausomai nuo grynumo ir yra viena iš aukščiausių lydymosi taškų tarp dvejetainių junginių. Dėl to tai yra patraukli alternatyva, kai aukštesnės temperatūros poreikiai viršija efektyvumo galimybes, naudojamas sudėtinių puslaidininkių epitaksiniuose procesuose, tokiuose kaip MOCVD ir LPE.
Semicorex TaC dangos medžiagų duomenys
|
Projektai |
Parametrai |
|
Tankis |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisyvumas |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Kietumas (HK) |
2000 |
|
Atsparumas (omų cm) |
1×10-5 |
|
Terminis stabilumas |
<2500 ℃ |
|
Grafito matmenų keitimas |
-10~-20um (atskaitos vertė) |
|
Dangos storis |
≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
|
|
|
|
Aukščiau pateiktos tipinės vertės |
|