TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių smulkiu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD).
Tantalo karbidas (TaC) yra junginys, susidedantis iš tantalo ir anglies. Jis pasižymi metaliniu elektriniu laidumu ir ypač aukšta lydymosi temperatūra, todėl tai ugniai atspari keraminė medžiaga, žinoma dėl savo stiprumo, kietumo ir atsparumo karščiui bei dilimui. Tantalo karbidų lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 ° C, priklausomai nuo grynumo ir yra viena iš aukščiausių lydymosi taškų tarp dvejetainių junginių. Dėl to tai yra patraukli alternatyva, kai aukštesnės temperatūros poreikiai viršija efektyvumo galimybes, naudojamas sudėtinių puslaidininkių epitaksiniuose procesuose, tokiuose kaip MOCVD ir LPE.
Semicorex TaC dangos medžiagų duomenys
|
Projektai |
Parametrai |
|
Tankis |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisyvumas |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Kietumas (HK) |
2000 |
|
Atsparumas (omų cm) |
1×10-5 |
|
Terminis stabilumas |
<2500 ℃ |
|
Grafito matmenų keitimas |
-10~-20um (atskaitos vertė) |
|
Dangos storis |
≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
|
|
|
|
Aukščiau pateiktos tipinės vertės |
|
„Semicorex“ akytieji tantalo karbido žiedai yra didelio našumo ugniai atsparūs komponentai, specialiai sukurti silicio karbido (SiC) kristalų auginimo fizinio garų transportavimo (PVT) procesui, pasižymintys monolitine sukepinta struktūra, užtikrinančia išskirtinį terminį stabilumą ir kontroliuojamą dujų pralaidumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex TaC padengti grafito plokštelių susceptoriai yra pažangiausi komponentai, paprastai naudojami stabiliai palaikyti ir padėti puslaidininkių plokštelėms pažangių puslaidininkių epitaksinių procesų metu. Pasitelkdama pažangiausias gamybos technologijas ir brandžią gamybos patirtį, „Semicorex“ yra įsipareigojusi mūsų vertinamiems klientams tiekti pagal užsakymą pagamintus TaC dengtus grafitinių plokštelių susceptorius, pasižyminčius rinkoje pirmaujančia kokybe.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex CVD TaC padengti susceptoriai yra didelio našumo grafito susceptoriai su tankia TaC danga, suprojektuoti taip, kad užtikrintų puikų terminį vienodumą ir atsparumą korozijai sudėtingiems SiC epitaksinio augimo procesams. „Semicorex“ sujungia pažangią CVD dengimo technologiją su griežta kokybės kontrole, kad būtų užtikrintas ilgalaikis, mažai užterštas susceptorius, kuriais pasitiki pasauliniai SiC epi gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai yra didelio našumo žiedo komponentai, naudojami puslaidininkių kristalų auginimo įrangoje. Jie specialiai sukurti sukurti tinkamą temperatūros gradientą ir stabilią oro srauto aplinką kristalų augimo metu. Pasirinkę Semicorex tantalo karbidu padengtus kreipiamuosius žiedus, gausite neprilygstamą dengimo technologiją ir itin efektyvią bei stabilią gamybos patirtį.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex TaC padengtas grafito tiglis pagamintas iš tantalo karbido dengimo grafito CVD metodu, kuris yra tinkamiausia medžiaga, naudojama puslaidininkių gamybos procese. „Semicorex“ yra įmonė, kuri nuolat specializuojasi CVD keraminių dangų srityje ir siūlo geriausius medžiagų sprendimus puslaidininkių pramonėje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC“ padengti komponentai epitaksiniame augime yra brangi apdirbta dalis, esanti oro įsiurbimo angoje puslaidininkio epitaksinio proceso metu. „Semicorex“ yra aukščiausios klasės įmonė, kuri Kinijoje specializuojasi CVD TaC dengimo technologijoje ir eksportuoja produktus visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą