TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių smulkiu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD).
Tantalo karbidas (TaC) yra junginys, susidedantis iš tantalo ir anglies. Jis pasižymi metaliniu elektriniu laidumu ir ypač aukšta lydymosi temperatūra, todėl tai ugniai atspari keraminė medžiaga, žinoma dėl savo stiprumo, kietumo ir atsparumo karščiui bei dilimui. Tantalo karbidų lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 ° C, priklausomai nuo grynumo ir yra viena iš aukščiausių lydymosi taškų tarp dvejetainių junginių. Dėl to tai yra patraukli alternatyva, kai aukštesnės temperatūros poreikiai viršija efektyvumo galimybes, naudojamas sudėtinių puslaidininkių epitaksiniuose procesuose, tokiuose kaip MOCVD ir LPE.
Semicorex TaC dangos medžiagų duomenys
|
Projektai |
Parametrai |
|
Tankis |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisyvumas |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Kietumas (HK) |
2000 |
|
Atsparumas (omų cm) |
1×10-5 |
|
Terminis stabilumas |
<2500 ℃ |
|
Grafito matmenų keitimas |
-10~-20um (atskaitos vertė) |
|
Dangos storis |
≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
|
|
|
|
Aukščiau pateiktos tipinės vertės |
|
„Semicorex TaC“ padengti komponentai epitaksiniame augime yra brangi apdirbta dalis, esanti oro įsiurbimo angoje puslaidininkio epitaksinio proceso metu. „Semicorex“ yra aukščiausios klasės įmonė, kuri Kinijoje specializuojasi CVD TaC dengimo technologijoje ir eksportuoja produktus visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąTaC padengtas sėklų kristalų laikiklis yra didelio našumo komponentas, specialiai sukurtas puslaidininkinių medžiagų augimo aplinkai. „Semicorex“, kaip pirmaujanti TTaC padengtų sėklinių kristalų laikiklių gamintoja, siūlo jums efektyvius pagrindinių komponentų sprendimus aukščiausios klasės puslaidininkių gamybos srityje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC Coating Pjedestal Supporter“ yra svarbus komponentas, sukurtas epitaksinėms augimo sistemoms, specialiai pritaikytas reaktoriaus pjedestalams palaikyti ir proceso dujų srauto paskirstymui optimizuoti. „Semicorex“ siūlo didelio našumo, tiksliai sukonstruotą sprendimą, kuris sujungia puikų struktūrinį vientisumą, terminį stabilumą ir cheminį atsparumą – užtikrina nuoseklų ir patikimą pažangių epitaksijos programų veikimą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex CVD TaC Coated Susceptor“ yra aukščiausios kokybės sprendimas, skirtas MOCVD epitaksiniams procesams, užtikrinantis išskirtinį terminį stabilumą, grynumą ir atsparumą korozijai ekstremaliomis proceso sąlygomis. „Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria tiksliai suprojektuotai dengimo technologijai, kuri užtikrina pastovią plokštelių kokybę, ilgesnį komponentų tarnavimo laiką ir patikimą veikimą kiekviename gamybos cikle.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC Coated Crucibles“ yra didelio našumo talpykla, skirta ekstremalioms temperatūroms, tinkanti tiek metalo lydymo, tiek pažangiems puslaidininkių procesams. Pasirinkę Semicorex, turėsite prieigą prie pažangiausių dengimo technologijų ir inžinerinių žinių, užtikrinančių išskirtinį grynumą, ilgaamžiškumą ir stabilumą reikliausioje aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC“ padengta planetinė plokštė yra didelio tikslumo komponentas, sukurtas MOCVD epitaksiniam augimui, pasižymintis planetų judėjimu su keliomis plokštelių kišenėmis ir optimizuotu dujų srauto valdymu. Pasirinkus „Semicorex“, galima naudotis pažangia dangų technologija ir inžinerinėmis žiniomis, kurios užtikrina išskirtinį patvarumą, grynumą ir proceso stabilumą puslaidininkių pramonei.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą