Tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai

Virš grafito tiglio šiluminio lauko sistemoje paprastai įrengiami kreipiamieji žiedai. Jie veikia kartu su tigliu, šildytuvu ir šilumos izoliacijos cilindru bei kitais puslaidininkių komponentais, kad nukreiptų ir valdytų šilumos ir proceso dujų pasiskirstymą.

Aprivalumaiiš TAntalio karbido danga

Garsus dėl puikių rezultatųTaC dangaTrečiosios kartos puslaidininkių vieno kristalo auginimo programose tantalo karbido danga turi šiuos privalumus:

1. Išskirtinis terminis stabilumas

Tantalo karbidas pasižymi puikiu šiluminiu atsparumu, jo lydymosi temperatūra yra itin aukšta – 3880 ℃. Dėl šio išskirtinio šiluminio stabilumo Semicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai gali būti stabiliai naudojami aukštos temperatūros aplinkoje, žemesnėje nei 2500 ℃. Be to, šių dviejų medžiagų derinys sumažina dangos įtrūkimų ir lupimo riziką dėl temperatūros pokyčių, o tai žymiai įgalina komponento struktūrinį vientisumą kartotinio šildymo ir vėsinimo metu.

2. Puikus atsparumas korozijai

Tantalo karbidas pasižymi dideliu atsparumu korozijai ir oksidacijai ir yra chemiškai inertiškas daugumai reaktyvių dujų, tokių kaip amoniakas, vandenilis ir silicis. Dėl šio cheminio stabilumo Semicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai efektyviai neleidžia reaktyviosioms dujoms ardyti matricą ir pažeisti jų struktūrinį vientisumą, taip pat išvengiant užteršimo nuo reagentų ir priemaišų, patenkančių į kristalų struktūrą, rizikos.

Semicorex tantalo karbidu dengtų kreipiamųjų žiedų veikimas

Semicorexkreipiamieji žiedai, padengti tantalo karbidunaudoti didelio grynumo grafitą kaip matricą ir nusodinti TaC dangą ant paviršiaus naudojant CVD technologiją. Šių dviejų medžiagų derinys leidžia Semicorex tantalo karbidu padengtiems kreipiamiesiems žiedams suteikti šiuos pranašumus:

1. Dujų srauto valdymas ir srauto lauko optimizavimas

Kristalų augimo metu kreipiamųjų žiedų naudojimas padeda optimizuoti srauto pasiskirstymą šiluminiame lauke ir nukreipia reaktyviąsias dujas į kontroliuojamą srauto kryptį ir vienodą paskirstymą. Dėl ypatingos konstrukcinės konstrukcijos Semicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai gali nukreipti dujas tekėti ir tolygiai pasiskirstyti, o tai veiksmingai apsaugo nuo per didelės arba mažos vietinės dujų koncentracijos.

2.Temperatūros reguliavimas ir terminio lauko optimizavimas

Semicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai pasižymi puikiu šilumos laidumu, vaidina lemiamą vaidmenį padedant reguliuoti temperatūros pasiskirstymą ir užtikrinti stabilų temperatūros lauką kristalams augti. Pavyzdžiui, Semicorex tantalo karbidu padengti kreipiamieji žiedai gali padėti išlaikyti temperatūros gradientą silicio karbido kristalų PVT augimui, užtikrinant, kad medžiagos suirtų, transportuotų ir kristalizuotųsi tinkamomis sąlygomis.