Tantalo karbidu dengtas grafito imtuvas

Tantalo karbidu padengtas grafito susceptorius yra pažangiausias medžiagų inžinerijos sprendimas, specialiai sukurtas didelio našumo puslaidininkių apdorojimo reikmėms. Šis pažangus susceptorius sujungia išskirtines grafito savybes su patobulintomis tantalo karbido dangos savybėmis, todėl medžiaga puikiai tinka sudėtingoje šiluminėje ir cheminėje aplinkoje.

Iš esmės grafito susceptorius pasižymi puikiu šilumos laidumu, todėl yra idealus substratas vienodam ir efektyviam šilumos paskirstymui. Tai labai svarbu puslaidininkių gamybos procesuose, kur svarbiausias tikslus ir kontroliuojamas šildymas. Lengvas ir tvirtas grafito pobūdis dar labiau prisideda prie jo tinkamumo šioms reikmėms.

Pagrindinė naujovė slypi tantalo karbido dangoje, kuri padidina susceptoriaus atsparumą ir ilgaamžiškumą. Tantalo karbidas yra žinomas dėl savo išskirtinio kietumo, atsparumo dilimui ir aukštos lydymosi temperatūros. Įtraukus šią dangą ant grafito susceptoriaus, medžiaga įgyja papildomą apsaugos nuo dilimo, cheminių reakcijų ir ekstremalių temperatūrų sluoksnį.

Dėl sinergetinio grafito ir tantalo karbido derinio šiame susceptoriuje gaunama medžiaga, kuri ne tik efektyviai sugeria ir spinduliuoja šilumą, bet ir atlaiko atšiaurias sąlygas. Dėl to jis ypač tinka reikliems puslaidininkių procesams, tokiems kaip cheminis nusodinimas iš garų (CVD) ir kitose aukštos temperatūros srityse.