Apdorojimo metu puslaidininkinės plokštelės turi būti kaitinamos specializuotose krosnyse. Reaktorius sudarytas iš pailgų, cilindrinių vamzdžių, kuriuose plokštelės yra išdėstytos ant plokštelių valčių iš anksto nustatytais vienodais atstumais. Siekiant išlaikyti apdorojimo sąlygas kameroje ir sumažinti atliekų kiekį plokštelėse iš apdorojimo įrangos, plokštelių valčių ir daugelio kitų. kiti plokštelių apdorojimui naudojami prietaisai yra pagaminti iš tokios medžiagos kaip silicio karbidas (SiC).
Laiveliai, prikrauti apdorotų plokštelių partija, yra išdėstyti ant ilgų konsolinių mentelių, kuriomis jas galima įkišti į vamzdines krosnis ir reaktorius ir išimti iš jų. Irklas turi suplokšta laikiklio dalis, ant kurios gali būti pastatyta viena ar daugiau valčių, ir ilga rankena, esanti viename išlygintos laikiklio dalies gale, kuria galima valdyti irklas.
Konsolinėje irkloje rekomenduojama naudoti perkristalizuotą silicio karbidą su plonu CVD SiC sluoksniu, kuris yra labai grynas ir geriausias pasirinkimas puslaidininkių apdirbimo komponentams.
Semicorex gali teikti pritaikytas paslaugas pagal brėžinius ir darbo aplinką.
Semicorex didelio grynumo SiC konsolinis irklas yra pagamintas iš didelio grynumo sukepintos SiC keramikos, kuri yra puslaidininkio horizontalios krosnies konstrukcinė dalis. Semicorex yra patyrusi įmonė, tiekianti SiC komponentus puslaidininkių pramonėje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC Ceramic Paddle yra didelio grynumo konsolinis komponentas, sukurtas puslaidininkinėms aukštos temperatūros krosnims, daugiausia naudojamas oksidacijos ir difuzijos procesuose. Pasirinkus Semicorex, turėsite prieigą prie pažangių keramikos sprendimų, užtikrinančių išskirtinį stabilumą, švarą ir ilgaamžiškumą, kai reikia apdoroti plokšteles.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ mentelės yra didelio grynumo silicio karbido konsolės, skirtos plokštelių transportavimui aukštos temperatūros oksidacijos ir difuzijos krosnyse, kurių temperatūra viršija 1000 ℃. Pasirinkus Semicorex, užtikrinama išskirtinė medžiagų kokybė, tiksli inžinerija ir ilgalaikis patikimumas, kuriuo pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą