SiC keramikinis irklas

Semicorex SiC keraminė mentelė yra pažangi dalis, kuri buvo sukurta aukštos temperatūros puslaidininkinėse krosnyse, tokiose kaip oksidacija ir difuzija. Irklas veikia kaip konsolinė atrama, skirta laikyti ir perkelti plokšteles aukštoje temperatūroje. Semicorex SiC keraminis irklas suteikia labai grynus, labai stiprius keraminius komponentus aukštos temperatūros procesams, kuriems reikalingas patikimumas, stabilumas ir našumas, reikalaujantis gamybos proceso.

Irklas gaminamas iš didelio grynumosilicio karbidas (SiC), specialiai sukurtas atlaikyti sunkią šiluminę ir cheminę aplinką puslaidininkių gamybos proceso metu. Kai plokštelės apdorojamos oksidacijos ir difuzijos būdu, plokštelė yra veikiama aukštesnės nei 1000 laipsnių C temperatūros, taip pat reaktyviųjų dujų, tokių kaip deguonis, garai ar priedo atmosfera. Esant tokioms temperatūroms, konstrukcijos vientisumas priklausys nuo medžiagos grynumo.

Kita svarbi SiC keraminių irklų savybė yra puikus jų veikimas aukštoje temperatūroje. Dėl SiC lydymosi temperatūros 2700+C, mentelės išlaiko tvirtumą ir mechaninį stabilumą veikiant aukštai temperatūrai.

savybės laikui bėgant. Šiluminė savybė riboja medžiagos deformaciją ir įtrūkimus kartojamų šildymo ir aušinimo ciklų metu, tuo pačiu užtikrinant ilgą tarnavimo laiką gamybos aplinkoje.

Puslaidininkių apdorojimui reikalinga itin švari aplinka, nes net nedideli priemaišų kiekiai gali turėti įtakos prietaisų išeigai ir veikimui. Mentelėse naudojama SiC medžiaga turi chemiškai garais nusodintą (CVD) SiC dangą, kuri užtikrina išskirtinai aukštą medžiagos grynumą ir sumažina metalinį užterštumą. SiC keramikos irklas išlieka švarus ir stabilus visą savo naudojimo laiką. Kaip konsolės atramos, mentelės turi užtikrinti patikimą plokštelių laikiklių ar valčių atramą įdedant ir išimant iš krosnies. DėlSiCDėl būdingo stiprumo ir standumo, jie pasižymi geromis laikančiomis savybėmis su minimaliu deformavimu, o tai būtina norint tinkamai apdoroti ir išlyginti plokšteles. Oksidacinėse ir difuzinėse krosnyse korozinė atmosfera laikui bėgant gali užpulti ir suardyti tradicines medžiagas, tačiau SiC gali išlaikyti savo cheminį stabilumą ir pailginti mentelės naudojimo laiką. Dėl to labai sumažėja priežiūros ir keitimo išlaidos, nes mentelių nereikia keisti ar taisyti beveik taip dažnai.

Be našumo, galima lanksčiai pritaikyti irklas konkrečiai įrangai ir procesams. Matmenys, leistini nuokrypiai ir paviršiaus apdaila gali būti lankstūs, kad būtų užtikrintas tinkamas krosnies dizainas ir bet kokia kita plokštelių tvarkymo sistema. Galimybė pasiekti aukštą matmenų tikslumo laipsnį tiksliai apdirbant keramiką taip pat leis gaminti irklas, atitinkančias sudėtingas geometrijas. Visas šis funkcijų spektras skirtas užtikrinti sklandų veikimą ir lengvą integravimą į esamas gamybos linijas.

SiC keramikairklas, pasižymintis didelio grynumo, terminio stabilumo, mechaninio stiprumo ir cheminio atsparumo deriniu, yra pagrindinė medžiaga puslaidininkių oksidacijos ir difuzijos procesuose. Suteikdami stabilią, švarią plokštelių perkėlimo platformą, jie tiesiogiai prisideda prie geresnio derlingumo, proceso nuoseklumo ir bendro gamybos efektyvumo.