SiC keraminės mentelės

Kadangi puslaidininkių gamybai ir toliau reikalinga griežtesnė proceso kontrolė ir didesnis gamybos išeiga, plokštelių tvarkymo komponentai turi užtikrinti išskirtinį matmenų stabilumą, atsparumą užterštumui ir mechaninį stiprumą aukštesnėje temperatūroje. SiC Ceramic Paddles yra specialiai sukonstruoti konsoliniai plokštelių laikikliai, skirti transportuoti ir palaikyti plokšteles per aukštos temperatūros krosnies procesus, išlaikant išskirtinį konstrukcijos vientisumą.

Pagaminta iš didelio grynumosilicio karbido (SiC) keramika, Semicorex SiC keraminės mentelės yra plačiai naudojamos difuzijos, oksidacijos, atkaitinimo, LPCVD ir kitoje terminio apdorojimo įrangoje. Jų lengva, bet standi konsolinė konstrukcija sumažina plokštelių vibraciją pakraunant ir iškraunant, užtikrinant tikslią padėties nustatymą ir saugų perkėlimą krosnies sistemose.

Sukurtos ilgam tarnavimo laikui ir pastoviam veikimui, šios mentelės padeda puslaidininkių gamintojams pagerinti proceso stabilumą, sumažinti užteršimo riziką ir padidinti įrangos našumą.

---

Sukurta naudoti aukštos temperatūros krosnyse

Skirtingai nuo įprastinių plokštelių tvarkymo įrankių, SiC keraminės mentelės yra skirtos veikti tiesiai krosnies kamerose, kur temperatūra ilgą laiką gali viršyti 1000 °C.

Jų konsolės konfigūracija leidžia operatoriams arba automatinėms valdymo sistemoms įdėti ir išimti vaferinius laivelius nepažeidžiant kruopščiai kontroliuojamos šiluminės aplinkos. Kartojant šildymo ir vėsinimo ciklus, mentelės išlaiko savo mechaninį stiprumą ir matmenų tikslumą, todėl plokštelės gali išlikti saugiai laikomos transportuojant.

Įprastos krosnies taikymo sritys apima:

* Silicio plokštelių difuzija

* Terminis oksidavimas

* Atkaitinimo procesai

* LPCVD apdorojimas

* Puslaidininkinis terminis apdorojimas

* Tyrimų ir bandomosios gamybos linijos

Dėl stabilaus veikimo jie yra būtini tiek puslaidininkių gamybos įrenginiuose, tiek fotovoltinės energijos gamyboje.

---

Labai grynas silicio karbidas švariam apdorojimui

Medžiagos grynumas yra būtinas puslaidininkių gamybai, kai mikroskopiniai teršalai gali labai paveikti plokštelių išeigą.

„Semicorex“ gamina SiC keramikines irklasdidelio grynumo silicio karbido keramikapasižymi išskirtiniu atsparumu užteršimui ir degradacijai ilgalaikio krosnies veikimo metu.

Medžiagos pranašumai apima:

* Didelis cheminis grynumas

* Puikus atsparumas oksidacijai

* Išskirtinis atsparumas korozijai

* Itin mažas dalelių susidarymas

* Didelis kietumas ir atsparumas dilimui

* Ilgas eksploatavimo laikas

Šios charakteristikos padeda palaikyti švarias krosnies sąlygas ir apsaugo jautrias plokšteles nuo užteršimo.

---

Puikus terminis stabilumas

Pakartotinis ekstremalių temperatūrų poveikis krosnies komponentams sukelia didžiulį įtampą. Medžiagos, kurių šiluminis stabilumas yra prastas, laikui bėgant gali deformuotis, įtrūkti arba prarasti matmenų tikslumą.

Silicio karbidassiūlo išskirtines šilumines savybes, įskaitant:

* Puikus stiprumas aukštoje temperatūroje

* Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas

* Aukštas šilumos laidumas

* Išskirtinis atsparumas šiluminiam smūgiui

* Stabilios mechaninės savybės terminio ciklo metu

Šie pranašumai leidžia SiC keraminėms mentėms išlikti stabilių matmenų net ir nepertraukiamos gamybos metu, o tai leidžia tiksliai nustatyti plokštelių padėtį viso proceso metu.

---

Konsolinis dizainas stabiliam plokštelių transportavimui

Išskirtinis šių komponentų bruožas yra jų konsolinės irklo konstrukcija. Ši konstrukcija suteikia ilgą, standžią atraminę svirtį, galinčią giliai įsiskverbti į krosnies kameras, išlaikant puikų standumą.

Konsolės konfigūracija suteikia keletą eksploatacinių privalumų:

* Sklandus vaflių pakrovimas ir iškrovimas

* Sumažinta vibracija transportavimo metu

* Patobulintas padėties nustatymo tikslumas

* Mažesnė plokštelės krašto pažeidimo rizika

* Geresnis suderinamumas su automatizuotomis tvarkymo sistemomis

Rezultatas – saugesnis plokštelių judėjimas ir didesnis nuoseklumas didelės apimties gamybos linijose.

---

Tiksli gamyba ir pritaikymas

Skirtingoms krosnių sistemoms reikia unikalaus ilgio, pločio, storio ir konstrukcinių savybių turinčių mentelių. „Semicorex“ siūlo pritaikytas SiC keramikines irklas, sukurtas sklandžiai integruotis su įvairiomis terminio apdorojimo platformomis.

Tinkinimo parinktys apima:

* Individualūs irklo ilgiai

* Skirtingos konsolės geometrijos

* Tikslūs lizdai arba angos

* Lengvos konstrukcijos konstrukcijos

* Įvairios storio specifikacijos

* Konkrečios programos konfigūracijos

Pažangus apdirbimas ir tikslus apdaila užtikrina puikų lygumą, matmenų tikslumą ir pakartojamą kokybę kiekvienoje gamybos partijoje.

---

Tipinės programos

SiC keraminės mentelės dažniausiai naudojamos:

* Puslaidininkinės difuzinės krosnys

* Oksidacinės krosnių sistemos

* Atkaitinimo įranga

* LPCVD reaktoriai

* Silicio plokštelių apdorojimo linijos

* Sudėtinių puslaidininkių gamyba

* Aukštos temperatūros laboratorinės krosnys

* Fotovoltinių elementų gamyba

Dėl jų gebėjimo derinti aukštą grynumą ir puikų terminį stabilumą jie tinka tiek gamybos masto gamybai, tiek pažangiems tyrimams.

---

Ką gali pasiūlyti Semicorex?

„Semicorex“ derina „premium“.silicio karbido medžiagossu tikslios gamybos patirtimi gaminti krosnies valdymo komponentus, atitinkančius griežtus puslaidininkių pramonės reikalavimus. Kiekvienas SiC keramikinis irklas yra gaminamas griežtai kontroliuojant kokybę, kad būtų užtikrintas puikus mechaninis patikimumas, matmenų nuoseklumas ir ilgalaikis patvarumas sudėtingoje šiluminėje aplinkoje.

Nesvarbu, ar keičiate esamus krosnies komponentus, ar kuriate naujas įrangos platformas, „Semicorex“ siūlo pritaikytus sprendimus, pritaikytus pagal klientų specifikacijas ir proceso reikalavimus.

---

Išvada

Semicorex SiC keraminės mentelės yra patikimas sprendimas plokštes tvarkyti aukštos temperatūros krosnyse. Pagaminta išdidelio grynumo silicio karbido keramikair sukonstruoti su standžia konsoline konstrukcija, užtikrina išskirtinį šiluminį stabilumą, atsparumą užterštumui ir mechaninį stiprumą. Užtikrindami saugų plokštelių transportavimą ir išlaikydami matmenų tikslumą ekstremaliomis apdorojimo sąlygomis, šios mentelės prisideda prie didesnio gamybos efektyvumo, geresnio proceso nuoseklumo ir ilgesnio įrangos tarnavimo laiko.