„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
Semicorex SiC padengti dujų nukreipimo diskai yra nepakeičiami grafito komponentai, naudojami puslaidininkinėje epitaksinėje įrangoje, specialiai sukurti reguliuoti reakcijos dujų srautą ir skatinti vienodą dujų pasiskirstymą reakcijos kameroje. Pasirinkite Semicorex, pasirinkite optimalius dujų nukreipimo sprendimus, kad gautumėte aukštos kokybės plokštelių epitaksijos rezultatus.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Wafer Carrier“ yra pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido keramikos, naudojant 3D spausdinimo technologiją, o tai reiškia, kad per trumpą laiką galima pagaminti labai vertingus apdirbimo komponentus. Manoma, kad Semicorex tiekia kvalifikuotus aukštos kokybės produktus savo klientams visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex CVD SiC padengti viršutiniai įžeminimo žiedai yra pagrindiniai žiedo formos komponentai, sukurti specialiai sudėtingai plazminio ėsdinimo įrangai. Kaip pramonėje pirmaujantis puslaidininkinių komponentų tiekėjas, Semicorex daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ilgalaikių ir itin švarių CVD SiC padengtų viršutinių įžeminimo žiedų tiekimui, kad padėtų mūsų vertinamiems klientams pagerinti veiklos efektyvumą ir bendrą gaminio kokybę.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC sandarikliai yra didelio našumo mechaniniai paviršiaus komponentai, sukurti taip, kad užtikrintų puikų atsparumą dilimui, terminį stabilumą ir universalų cheminį inertiškumą sudėtingiausioje besisukančios įrangos aplinkoje. „Semicorex“ yra profesionalus SiC keraminių medžiagų tiekėjas, galintis tiekti didelio tikslumo produktus pasauliniams klientams.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Pjedestalas“ yra didelio tikslumo, daugiafunkcis aparatūros komponentas, sukurtas užtikrinti šiluminį stabilumą ir sudėtingą skysčių paskirstymą, reikalingą pažangioms mikrokanalų reakcijos sistemoms. „Semicorex“ specializuojasi šių didelio grynumo SiC pjedestalų projektavime ir tiekime pagal klientų poreikius.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex aliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštės yra didelio našumo poliravimo komponentai, pagaminti iš aliuminio oksido keramikos, kurie yra specialiai sukurti plokščių poliravimo procesui aukščiausios klasės puslaidininkių pramonėje. Pasirinkę Semicorex, rinkitės produktus su ekonomiškai efektyvia kaina, išskirtiniu patvarumu ir itin efektyviu apdorojimu.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą