„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
„Semicorex“ silicio nitrido plokštelės yra aukšto stiprumo keraminiai substratai, skirti užtikrinti išskirtinį šiluminį našumą ir mechaninį patikimumą pažengusiems galios moduliams. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia naudą iš tikslaus gamybos, griežtos kokybės kontrolės ir medžiagų inžinerijos kompetencijos, užtikrinančios nuoseklų našumą net ir reikliausiose programose.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ vertikalios valtys yra aukštos kokybės vaflinių vaflių, skirtų naudoti vertikaliose krosnies procesuose, siūlo išskirtinį stabilumą, švarą ir ilgaamžiškumą. Pasirinkite „Semicorex“ bekompromisės kokybės, tikslaus gamybos ir įrodyto puslaidininkinio šiluminio apdorojimo patikimumo.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ vamzdžiai yra aukštos kokybės silicio karbido keramikos komponentai, skirti puslaidininkių krosnies pritaikymui, užtikrinanti išskirtinį šiluminį, mechaninį ir cheminį stabilumą reikalaujančioje proceso aplinkoje. Pasirinkite „Semicorex“, kad galėtumėte tiksliai sukurti SIC vamzdžius, užtikrinančius pastovią kokybę, prailgintą aptarnavimo tarnavimo laiką ir maksimalų krosnies efektyvumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ horizontalios kameros krosnys SiC valtys yra aukšto grynumo silicio karbido nešiklis, skirtas saugiam vaflių laikymui aukštos temperatūros horizontalios krosnies apdorojimo metu. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia naudą iš tikslios inžinerijos, išskirtinio ilgaamžiškumo ir puikaus šiluminio našumo, kad būtų galima pastoviai, didelio derlingumo gamybai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ silicio karbido skenavimo veidrodžiai suteikia išskirtinį tikslumą, greitį ir stabilumą, kai reikia reikliausių optinio nuskaitymo programų. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte neprilygstamą patirtį SIC inžinerijoje, siūlydami pritaikytas geometrijas, aukščiausios kokybės dangas ir patikrintą patikimumą aukštos kokybės optinėse sistemose.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ veidrodžiai yra aukštos kokybės silicio karbido optiniai komponentai, sukurti ypač tikslūs tokiose programose kaip optinės nuskaitymo sistemos, litografija ir kosminiai teleskopai. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautume pažangias gamybos žinias, pritaikomus dizainus ir išskirtinį paviršiaus apdailą, užtikrinantį neprilygstamą stabilumą, atspindį ir patikimumą sunkiausioje aplinkoje.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą