„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
Semicorex SiC Fin yra didelio grynumo silicio karbido keramikos komponentas, tiksliai sukurtas su perforuota disko struktūra, kad būtų galima efektyviai valdyti dujų ir skysčių srautą epitaksijos ir ėsdinimo įrangoje. „Semicorex“ tiekia pritaikytus, didelio tikslumo komponentus, kurie užtikrina puikų ilgaamžiškumą, atsparumą cheminėms medžiagoms ir veikimo stabilumą puslaidininkių procesų aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąPažangi SiC plokštelių šlifavimo plokštė iš Semicorex yra precizinio apdirbimo dalis, skirta pasiekti ypač aukštą plokštumą puslaidininkinių plokštelių paviršiams. Semicorex SiC plokštelių šlifavimo plokštės pasirinkimas neapsiriboja didelio našumo įrankio parinkimu, jis užtikrina optimalų, tikslų, stabilų ir efektyvų sprendimą šlifavimo darbams.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Wafer Cassette“ yra didelio grynumo, tiksliai suprojektuotas plokštelių apdorojimo komponentas, sukurtas taip, kad atitiktų griežtus pažangios puslaidininkių gamybos reikalavimus. „Semicorex“ – tai sprendimas, sukurtas siekiant stabilumo, švarumo ir tikslumo – užtikrina saugų, patikimą plokštelių transportavimą ir apdorojimą aukštos temperatūros ir itin švarioje aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex RB-SiC atspindintys veidrodžiai yra optiniai komponentai, pagaminti iš silicio karbido reakcijos sukepinimo proceso metu. Jie pasižymi puikiu terminiu stabilumu, dideliu specifiniu standumu ir puikiomis optinėmis savybėmis.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ anglies keramikos stabdžių diskai užtikrina išskirtinį stabdymo efektyvumą, šiluminį stabilumą ir ilgaamžiškumą, kai naudojami didelio našumo ir sudėtingi darbai. Pasirinkite Semicorex, kad sukurtumėte tikslią anglies keramikos technologiją, kuri užtikrina puikų patikimumą, lengvą dizainą ir pastovų veikimą ekstremaliomis sąlygomis.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ anglies keramikos kompozitiniai CCB stabdžiai su danga yra aukščiausios kokybės stabdymo technologijos pažanga, sujungianti išskirtines šilumines ir mechanines anglies-keraminių medžiagų savybes su pažangia apsauga ir ilgaamžiškumu, kurį suteikia specializuotos paviršiaus dangos. Pasirinkus Semicorex, reikia pasirinkti patikimumą, tikslumą ir puikų našumą pačiomis sudėtingiausiomis sąlygomis – kai tolygi stabdymo galia, ilga eksploatavimo trukmė ir saugumas yra neginčijami.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą