„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
Semicorex silicio karbido plokščioji membrana yra aukštos kokybės keramikos filtravimo tirpalas, garsėjantis išskirtiniu cheminiu atsparumu, šiluminiu stabilumu ir pranašesniu filtravimo efektyvumu. Pasirinkti „Semicorex“ reiškia pasirinkti pramonės šakos pirmaujančias technologijas, paremtas pažangiausiais gamybos procesais ir įsipareigojimu pateikti patikimus, ekonomiškus sprendimus, kurie atitiktų sunkiausius filtravimo iššūkius.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex silicio karbido kompozicinė membrana yra patobulintas filtravimo sprendimas, derinantis silicio karbido, aliuminio oksido ir kalcio oksido aukštesnes savybes, kad būtų galima filtruoti aukštą našumą įvairiose pramonės šakose. „Semicorex“ yra patikimas šios pažangiausios technologijos pasirinkimas, siūlantis neprilygstamą kokybę, patikimumą ir pritaikytus sprendimus, užtikrinančius optimalų efektyvumą ir ilgalaikį jūsų filtravimo poreikių našumą.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Silicon“ karbido membrana yra pažangios filtravimo sprendimai, siūlantys puikų cheminį, šiluminį ir mechaninį pasipriešinimą, idealiai tinkantį reikalauti pramoninės reikmenų. Pasirinkite „Semicorex“ mūsų aukštos kokybės, patvarioms membranoms, kurios užtikrina ilgalaikį našumą, efektyvumą ir patikimumą, užtikrindami optimalius rezultatus kiekviename filtravimo procese.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ membrana yra aukštos kokybės keramikos filtravimo sprendimas, pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido, skirto iššūkių pramoniniam filtravimo pritaikymui. Pasirinkite „Semicorex“ patikimoms, patvarioms ir efektyvioms SIC membranoms, kurios suteikia išskirtinę našumą ir ilgalaikę vertę net ir reikliausioje aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ vakuuminiai griebtuvai yra puikus sprendimas vaflių tvarkymui puslaidininkių ir tikslumo pramonėje. Turėdami įvairias bazinių medžiagų variantus, keraminių plokštelių pritaikymą ir tikslią lygumo valdymą, mūsų vakuuminiai griebtuvai užtikrina patikimą vaflių stabilumą ir puikius proceso rezultatus. Sukurtos siekiant patenkinti griežtus šiuolaikinės puslaidininkių gamybos reikalavimus, šie šmaikščiai užtikrina neprilygstamą našumą, užtikrindami, kad jūsų procesai išliks efektyvūs ir ekonomiški.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Poroy SiC Vacuum Chuck“ yra skirtas tiksliam ir patikimam vaflių tvarkymui, siūlančiam pritaikomas medžiagų parinktis, kad patenkintų platų puslaidininkių apdorojimo poreikius. Pasirinkite „Semicorex“ savo įsipareigojimą dėl aukštos kokybės, patvarių sprendimų, kurie kiekvienoje programoje užtikrina optimalų našumą ir efektyvumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą