„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
„Semicorex CCB“ stabdžiai (anglies-keramikos stabdžiai su padengta trinties sluoksniu) yra naujos kartos aukštos kokybės stabdymo tirpalai, sukurti siekiant didelio ilgaamžiškumo, šiluminio stabilumo ir nuoseklaus stabdymo sunkiausiomis sąlygomis. Pasirinkite „Semicorex“ savo patirtį pažangių keraminių kompozitų ir tiksliai sukurtų dengimo technologijų.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex CCM“ stabdžiai, pagaminti iš pažangių anglies-keraminių matricų medžiagų, yra idealus sprendimas didelio našumo stabdymui ekstremaliose vairavimo aplinkose. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautume neprilygstamą žinių apie keraminę kompozicinę inžineriją, tikslumo gamybą ir įsipareigojimą pristatyti nuoseklią, rasės įrodytą kokybę.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ keraminiai kompoziciniai šildytuvai suteikia ypač efektyvų, didelio efektyvumo šildymo efektyvumą, kad reikėtų naudoti aukštos temperatūros taikymą. Pasirinkite „Semicorex“ pramonei pirmaujančiai medžiagų grynumui, tikslumo inžinerijai ir patikimam pritaikymui, remiamam daugelio metų patirtimi pažangių keraminių technologijų srityje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex PBN“ šildytuvas siūlo ypač švarų, aukštos temperatūros našumą, idealiai tinkantį puslaidininkių, krištolo augimui ir vakuuminiams pritaikymams. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte neprilygstamą medžiagų grynumą, inžinerinį tikslumą ir patikimą pristatymą, kuriuo pasitiki pirmaujantys pasauliniai gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ keramikos valtys suteikia optimalų grynumo, stiprumo, šiluminio pasipriešinimo ir matmenų tikslumo derinį, reikalingą griežtam šiuolaikinio puslaidininkių plokštelių apdorojimo reikalavimams. *
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ robotų rankos yra labai tikslūs, ypač švarūs galutiniai efektoriai, skirti saugiai ir patikimai perduoti vaflinius vaflių perdavimą puslaidininkių gamyboje. „Choose Semicorex“, skirtas pramonės pirmaujančioms žinioms, teikiančioms aukščiausio lygio „Pažangiųjų keramikos“ kompetenciją.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą