„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
„Semicorex CVD SiC Edge Ring“ yra aukštos kokybės plazmoje nukreiptas komponentas, skirtas pagerinti ėsdinimo vienodumą ir apsaugoti plokštelių kraštus puslaidininkių gamyboje. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte neprilygstamą medžiagos grynumą, tikslumo inžineriją ir patikrintą patikimumą pažengusioje plazmos proceso aplinkoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex PBN“ tipas yra ypač didelis grynumas, chemiškai inertiniai talpyklos, idealiai tinkančios naudoti aukštos temperatūros ir vakuume. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte neprilygstamą medžiagų kokybę, tikslią inžineriją ir ekspertų palaikymą, kuriuo pasitiki pramonės lyderiai visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ anglies keraminiai stabdžiai yra didžiausias stabdymo sprendimas, skirtas naudoti aukštos kokybės. Pasirinkite „Semicorex“, kad gautumėte neprilygstamų medžiagų kompetencijos, tikslaus gamybos ir patikimumo patikimumo, kuriuo pasitiki pagrindiniai originalios įrangos gamintojai visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ aliuminio nitridų šildytuvai yra aukšto našumo keramikos šildymo elementai, žinomi dėl savo išskirtinio šilumos laidumo, greito atsako ir elektros izoliacijos. „Semicorex“ pasirinkimas reiškia bendradarbiavimą su patikimu pažangių keraminių technologijų ekspertu-prisitaikydami prie tikslaus inžinerijos sprendimų, nuoseklios kokybės ir reaguojančios techninės pagalbos, pritaikytos jūsų paraiškos poreikiams.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ 4 colių SIC valtys yra aukštos kokybės vaflių nešikliai, skirti aukštesniam šiluminio ir cheminio stabilumui puslaidininkių gamyboje. Pramonės lyderių pasitikėjimas „Semicorex“ sujungia pažangių medžiagų patirtį ir tikslią inžineriją, kad pristatytų produktus, kurie padidina derlių, patikimumą ir veiklos efektyvumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex ALN“ šildytuvai yra pažangios keramikos pagrindu pagamintos šildymo elementai, skirti didelio našumo šiluminėms reikmėms. Šie šildytuvai siūlo išskirtinį šilumos laidumą, elektrinę izoliaciją ir atsparumą cheminiam ir mechaniniam stresui, todėl jie yra idealūs reikalaujant pramoninės ir mokslinės reikmėms. ALN šildytuvai užtikrina tikslų ir vienodą šildymą, užtikrindami efektyvų šilumos valdymą aplinkoje, kuriai reikalingas didelis patikimumas ir ilgaamžiškumas.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą