„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex taip pat turi keramikos gaminius iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
Semicorex silicio karbido valtis yra didelio našumo komponentas, skirtas naudoti puslaidininkių difuzijos procesuose, pasižymintis išskirtiniu terminiu stabilumu, atsparumu dilimui ir cheminiu patvarumu. Pasirinkite „Semicorex“ dėl pažangių gamybos galimybių, tiekiančių patikimus, aukštos kokybės produktus, užtikrinančius optimalų veikimą sudėtingose puslaidininkių ir pramonės srityse.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ teikia pirmenybę kokybei ir našumui, užtikrindama, kad kiekviena SiC tarpinė atitiktų griežtus pramonės standartus. Mūsų pažangiausi gamybos procesai garantuoja, kad mūsų produktai duoda nuoseklius ir patikimus rezultatus, todėl Semicorex yra pažangios keramikos srities lyderė.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Grinding Media“ yra pagaminta iš silicio karbido keramikos – medžiagos, kuri garsėja išskirtiniu kietumu ir ilgaamžiškumu. SiC šlifavimo terpės, sukurtos taip, kad atitiktų griežtus įvairių pramoninių pritaikymų reikalavimus, siūlo neprilygstamą efektyvumą ir ilgaamžiškumą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex 6 colių SiC Boat yra didelio našumo plokštelių laikiklis, pagamintas iš silicio karbido, skirtas naudoti aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose, tokiuose kaip oksidacija ir difuzija. „Semicorex“ siūlo aukščiausios kokybės produktus, pasižyminčius išskirtiniu terminiu stabilumu, puikiu cheminiu atsparumu ir įsipareigojimu užtikrinti patikimą, ilgalaikį veikimą sudėtingose puslaidininkių sistemose.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Vertical Silicon Boat“ yra svarbus komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose. „Semicorex“ tiekia neprilygstamos kokybės ir tikslumo pritaikytą vertikalią silicio valtį, pritaikytą griežtiems puslaidininkių pramonės reikalavimams.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSi3N4 sandarinimo žiedas iš Semicorex yra reikšmingas keramikos inžinerijos pažanga, pagamintas iš Si3N4, išskirtinės neorganinės medžiagos. Ši keramika garsėja savo unikalia savybe nesutraukti sukepinimo proceso metu, užtikrinant matmenų stabilumą ir nuoseklumą.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą