Silicio karbido kasetinės valtys

SemicorexSilicio karbido kasetinės valtysyra nepakeičiami nešiojamieji komponentai, turintys stabilią ir labai stiprią struktūrą, saugiai ir tiksliai laiko, perkelia ir tvarko kelias puslaidininkines plokšteles. Jie plačiai naudojami įvairiuose aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose, kad būtų užtikrintas optimalus šilumos ir dujų srauto paskirstymas ir nuoseklūs apdorojimo rezultatai.

Kruopščiai parinkta žaliava

Semicorex silicio karbido kasetinės valtys, tiksliai pagamintos iš puslaidininkių silicio karbido miltelių, sukepinant aukštoje temperatūroje, pasižymi šiomis puikiomis savybėmis.

1. Itin didelio grynumo:Pagrindo priemaišų kiekis kontroliuojamas, kad būtų mažesnis nei 100 PPM, o priemaišų lygisCVD silicio karbidasdanga gali siekti mažiau nei 1 PPM.

2. Patikimas atsparumas korozijai:Silicio karbido keramika pasižymi dideliu atsparumu korozijai ir yra atspari daugumos rūgščių (pvz., druskos rūgšties, sieros rūgšties ir vandenilio fluorido rūgšties), šarmų (pvz., kaustinės sodos), tirpiklių ir oksiduojančių medžiagų korozijai.

3. Išskirtinis šilumos valdymo pajėgumas:Dėl išskirtinės šiluminės varžos ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento silicio karbido kasetinės valtys gali išlaikyti savo chemines savybes ir mechaninį stiprumą net ir ilgai veikiant aukštoje, maždaug 1250 °C temperatūroje.

Tiksliai suprojektuota konstrukcija

1. Horizontali rėmo struktūra:Dėl horizontalios „Semicorex“ silicio karbido kasetinių valčių rėmo konstrukcijos jie puikiai tinka horizontaliems aukštos temperatūros krosnies vamzdžiams.

2. Tolygiai išdėstytos plyšio įpjovos:Semicorex silicio karbido kasetės, turinčios daugybę tolygiai išdėstytų plyšių, gali tvirtai laikyti plokštelę vietoje, o tai gali žymiai apsaugoti nuo nepageidaujamų įbrėžimų, įbrėžimų ir pažeidimų, atsirandančių dėl plokštelių poslinkio, taip veiksmingai užtikrinant puslaidininkių proceso stabilumą ir plokštelių išeigą.

3. Kelių lizdų dizainas:Dėl kelių lizdų, skirtų kelioms plokštelėms nešti, „Semicorex“ silicio karbido kasetės gali pagerinti vienos partijos apdorojimo našumą ir bendrą gamybos efektyvumą.

4. Atvira architektūra:Semicorex silicio karbido kasetės turi apgalvotą atvirą architektūrą, kuri gali padėti pasiekti vienodą dujų paskirstymą ir pakankamą reakcijos kontaktą, o tai efektyviai sumažina nenuoseklius proceso rezultatus.