Semicorex RTP nešiklis yra silicio karbidas, padengtas cheminiu garų nusodinimo (CVD) procesu, kuris yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui. Puslaidininkinio proceso šerdyje epitaksiniai susceptoriai pirmiausia yra veikiami nusėdimo aplinka, todėl turi didelį atsparumą karščiui ir korozijai. SiC padengtas nešiklis taip pat pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
● Didelio grynumo SiC padengtas grafitas
● Puikus atsparumas karščiui ir cheminis atsparumas
● Didelis terminis vienodumas
● Puikus atsparumas dilimui