Semicorex RTP nešiklis yra silicio karbidas, padengtas cheminiu garų nusodinimo (CVD) procesu, kuris yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui. Puslaidininkinio proceso šerdyje epitaksiniai susceptoriai pirmiausia yra veikiami nusodinimo aplinkos, todėl jis turi didelį atsparumą karščiui ir korozijai. SiC padengtas nešiklis taip pat pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
â Didelio grynumo SiC dengtas grafitas
â Puikus atsparumas karščiui ir cheminis atsparumas
â Didelis terminis vienodumas
â Puikus atsparumas dilimui
„Semicorex RTP Carrier“, skirtas MOCVD epitaksiniam augimui, idealiai tinka puslaidininkinių plokštelių apdorojimui, įskaitant epitaksinį augimą ir plokštelių apdorojimą. Anglies grafito susceptoriai ir kvarciniai tigliai yra apdorojami MOCVD būdu ant grafito, keramikos ir kt. paviršiaus. Mūsų gaminiai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą