RTP nešiklis MOCVD epitaksiniam augimui

„Semicorex RTP Carrier“, skirtas MOCVD epitaksiniam augimui, idealiai tinka puslaidininkinių plokštelių apdorojimui, įskaitant epitaksinį augimą ir plokštelių apdorojimą. Anglies grafito susceptoriai ir kvarciniai tigliai yra apdorojami MOCVD būdu ant grafito, keramikos ir kt. paviršiaus. Mūsų gaminiai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Semicorex tiekia RTP nešiklį MOCVD Epitaxial Growth, naudojamą plokštelėms palaikyti, kuris yra tikrai stabilus RTA, RTP ar stiprių cheminių medžiagų valymui. Proceso šerdyje epitaksiniai susceptoriai pirmiausia yra veikiami nusodinimo aplinkos, todėl jie turi didelį atsparumą karščiui ir korozijai. SiC padengtas nešiklis taip pat pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
Mūsų RTP nešiklis, skirtas MOCVD epitaksiniam augimui, sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų RTP laikiklį, skirtą MOCVD epitaksiniam augimui.

RTP nešiklio parametrai MOCVD epitaksiniam augimui

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC Î² fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	Î¼m	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 â)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

RTP nešiklio savybės MOCVD epitaksiniam augimui

Didelio grynumo SiC padengtas grafitas
Aukščiausias atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas
Smulkiu SiC kristalu padengtas lygiam paviršiui
Didelis atsparumas cheminiam valymui
Medžiaga sukurta taip, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.