Semicorex RTP grafito nešiklio plokštė yra puikus sprendimas puslaidininkių plokštelių apdorojimui, įskaitant epitaksinį augimą ir plokštelių apdorojimą. Mūsų gaminys sukurtas taip, kad būtų atsparus karščiui ir šiluminis vienodumas, užtikrinant, kad epitaksiniai susceptoriai būtų veikiami nusodinimo aplinkos, pasižymintys dideliu atsparumu karščiui ir korozijai.
Mūsų gaminyje yra didelio grynumo SiC dengtas grafitas, pasižymintis puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis ir užtikrinantis, kad SiC dengtos nešiklio paviršius būtų lygus, be įtrūkimų ir delaminacijos. Mūsų RTP grafito nešiklio plokštė yra smulkiai padengta silicio karbidu, todėl paviršius yra lygus ir be defektų. Šis gaminys labai atsparus atšiauriam cheminiam valymui ir skirtas užtikrinti, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.
Mes siūlome kainos pranašumą, kurio negali prilygti mūsų konkurentai, ir esame įsipareigoję tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Naudodami mūsų RTP grafito laikymo plokštę galite būti tikri dėl puikių eksploatacinių savybių, puikios atsparumo karščiui ir šiluminio vienodumo. SiC padengtas laikiklis sukurtas taip, kad atlaikytų aukštą temperatūrą ir yra labai atsparus cheminiam valymui, todėl tarnaus ilgus metus. Mūsų produktas taip pat sukurtas taip, kad jį būtų lengva naudoti, todėl jis puikiai tinka tiek naujiems, tiek patyrusiems vartotojams.
„Semicorex“ esame įsipareigoję savo klientams teikti aukštos kokybės produktus ir paslaugas. Naudojame tik geriausias medžiagas, o mūsų gaminiai yra sukurti taip, kad atitiktų aukščiausius kokybės ir veikimo standartus. Mūsų RTP grafito laikiklio plokštė nėra išimtis. Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie tai, kaip galime padėti jums patenkinti puslaidininkinių plokštelių apdorojimo poreikius.
RTP grafito nešiklio plokštės parametrai
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
RTP grafito nešiklio plokštės ypatybės
Didelio grynumo SiC padengtas grafitas
Aukščiausias atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas
Smulkiu SiC kristalu padengtas lygiam paviršiui
Didelis atsparumas cheminiam valymui
Medžiaga sukurta taip, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.