Kamerų dangčiai naudojami siekiant sukurti švarią, inertišką ir apsaugotą aplinką nusodinimo kamerose, todėl nusodinimo ar ėsdinimo procesuose jie yra veikiami plazmos ir aukštos temperatūros. „Semicorex“ kamerų dangteliai yra patvarūs keraminiai komponentai, padengti silicio karbidu, naudojant cheminio nusodinimo garais (CVD) metodą, puikiai atlaikantys šią sudėtingą aplinką.
„Semicorex Sic“ dangtis yra didelio grynumo silicio karbido komponentas, sukurtas ekstremalioms puslaidininkių perdirbimo aplinkoms. Pasirinkti „Semicorex“ reiškia neprilygstamos medžiagos kokybės, tikslumo inžinerijos ir pasirinktinių sprendimų, kuriais pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai visame pasaulyje, užtikrinimą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą