Kamerų dangčiai naudojami siekiant sukurti švarią, inertišką ir apsaugotą aplinką nusodinimo kamerose, todėl nusodinimo ar ėsdinimo procesuose jie yra veikiami plazmos ir aukštos temperatūros. „Semicorex“ kamerų dangteliai yra patvarūs keraminiai komponentai, padengti silicio karbidu, naudojant cheminio nusodinimo garais (CVD) metodą, puikiai atlaikantys šią sudėtingą aplinką.