Sic dangtis

„Semicorex Sic“ dangtis yra gyvybiškai svarbi dalis, skirta specialiai puslaidininkių apdorojimui. Jis skirtas sunkiausioms aplinkoms, esančioms epitaksijos, jonų implantų ir aukštos temperatūros pritaikymuose. Jis gaminamas iš „Ultra-Pure“ silicio karbido, kuris pasižymi ypač stabiliomis medžiagų savybėmis ir inžineriniu tikslumu. Ilgalaikis konsistencija, ilgaamžiškumas ir švara yra pagrindinės priežastys, kodėl galima pasirinkti puslaidininko dangtį, skirtą naudoti pažengusiuose puslaidininkių gamybos procesuose.

Silicio karbidas (sic)turi daugybę savybių, kurios yra unikalios, palyginti su tradicine keramika ar metalinėmis medžiagomis. Vienas pagrindinių SIC pranašumų yra jo atsparumas aukštai temperatūrai. SIC gali išlaikyti savo struktūrinį vientisumą ir mechaninį stabilumą - ilgą laiką net esant aukštesnei temperatūrai. Tai daro SIC idealų procesams, tokiems kaip cheminio garų nusėdimo (CVD) epitaksija arba didelės energijos jonų implantacija. Metalai ir plastikai deformuotų, oksiduotų ar užterštų ekstremalioje temperatūroje, o SIC išlaikys savo matmenų stabilumą ir teigiamai sąveikaus su perdirbtais vafliais.

Cheminis atsparumas yra dar vienas skiriamasis SIC dangtelių bruožas. Puslaidininkių apdorojant aplinką, su kuria galite susidurti su korozinėmis dujomis, plazmos ar reaktyviosiomis cheminėmis medžiagomis, nėra neįprasta. Tais scenarijais SiC paviršius užtikrins inertišką barjerą, skirtą atsispirti tiems teršalams, nes laikui bėgant, ir ilgesnis efektyvus tarnavimo laikas. Šis ilgaamžiškumas prilygsta sumažintoms priežiūros sąnaudoms, sutrumpintai įrangos prastovos laikui ir pakartojamumui per išplėstinius proceso ciklus. Šie veiksniai daro SIC dangtį geresniu pasirinkimu FAB, kuriai reikalingas nuolatinis, didelio derliaus gamyba, palyginti su tradicinėmis medžiagomis.

Kaip ir cheminis pasipriešinimas, grynumas taip pat yra svarbiausias puslaidininkių taikyme. Teršalų teršalų buvimas gali turėti neigiamos įtakos prietaiso veikimui ir išeigai. SiC dangtis yra pagamintas iš aukšto grynumo silicio karbido medžiagų, kuriose neįtraukiama galimybė, kad į proceso aplinką tekėtų metalinės priemaišos. Be to, garantuojama, kad ji bus kiek įmanoma švaresnė ir stabili, nes tai susiję su teršalais ir išorinėmis jėgomis, turinčiomis įtakos dangčio našumui, o tai yra labai svarbu įvykdyti šiandienos puslaidininkių gamybos reikalavimus, kai nanometrų lygio objektai turi būti apibrėžti be matmenų tikslumu ir teršalų kontrole. SiC dangčio lankstumas yra papildoma vertė. Kiekvienas komponentas gali būti suprojektuotas atsižvelgiant į konkrečius kliento poreikius, atsižvelgiant į dydį, geometriją ir paviršiaus apdailą. Tai užtikrina, kad dangtį būtų galima lengvai įtraukti į skirtingus įrangos modelius ir su jais integruoti su jais ir su jais.

Apdirbimo tikslumasSicLidai dar labiau pagerina SIC dangčių vertę. Puslaidininkių įrankiai reikalauja didžiausio mechaninio tikslumo dėl didelių matmenų suderinamumo ir paviršiaus vienodumo svyravimų, net nedideli vienodumo ir medžiagų storio skirtumai gali smarkiai pakenkti įrankio proceso nuoseklumui, pralaidumui ir produkto kokybei. Per pažangias medžiagų apdorojimo technologijas SIC dangteliai turi lygumą, paviršiaus vienodumą ir tolerancijas, viršijančias įprastus pramonės standartus, siūlantys mechaninį sandarinimo paviršiaus storis, paprastai tūkstančius/tūkstančius colių (TIR). Aukštas lygumas leidžia užčiaupti mechaninį pritaikymą, taip pat laboratorinių lygio ribų užtikrinimą, kad būtų galima pakartoti gamybos proceso sąlygas. Tai ypač akivaizdu didelio tūrio FAB, kai puslaidininkių prietaisų veikimui labai svarbu pabrėžti sąlygų pakartojamumą. Kai siekiate tikslaus inžinerijos, tai tiesiogiai kalba, kad būtų galima optimizuoti. Kai SIC dangteliai naudojami tipiškai praktiškai, pavyzdžiui, epitaksijoje, kur SIC dangtis yra termiškai ir chemiškai stabilus, kad patektų į reaktorių, arba jonų implantacijos sistemoje, kad būtų atsparus energetinėms dalelėms, iš kurių buvo išskiriamos didelės galios pluošto, o jų mechaninės konfigūracijos ir savybės buvo prižiūrimos, nes jų veikimas yra didelis, nes jų mechaninės konfigūracijos ir savybės buvo prielaidos, nes jų veikimas yra didelis, nes jų mechaninės konfigūracijos ir savybės buvo prižiūrimos, o potencialios savybės ir savybės buvo prielaidos, nes jų eksploatacinės savybės buvo prielaidos, nes jų veikimas yra didelis, nes jų veikimas ir savybės, dėl jų veikiančios, ir savybės, o potencialios savybės ir savybės buvo prielaidos, nes jų eksploatacinės savybės buvo prižiūrimos, nes jų veikimas yra didelis. SiC dangteliams lemta sinonimas kietojo kūno puslaidininkių gamyboje.

„Semicorex Sic“ dangtis yra geriausias iš medžiagų mokslo ir medžiagų inžinerijos ir siūlo geriausią įmanomą veikimą puslaidininkių aplinkoje, tarp jų aukštos temperatūros nuokrypių, cheminio atsparumo, idealaus grynumo, pasirinktinių gaminių, tikslaus apdirbimo darbų, SIC dangtį.