Fokusavimo žiedai arba krašto žiedai skirti pagerinti ėsdinimo vienodumą aplink plokštelės kraštą arba perimetrą.
Semicorex fokusavimo žiedai yra padengti silicio karbidu, naudojant cheminį nusodinimą iš garų (CVD), užtikrina aukštą atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad epi sluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas, kurie yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalias plazminio ėsdinimo arba sauso ėsdinimo procesų sąlygas. .
Semicorex SiC Focus Ring yra didelio grynumo silicio karbido žiedo komponentas, skirtas optimizuoti plazmos pasiskirstymą ir plokštelių proceso vienodumą puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus Semicorex, užtikrinama pastovi kokybė, pažangi medžiagų inžinerija ir patikimas veikimas, kuriuo pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą