Roboto pabaigos efektorius

„Semicorex“ yra pirmaujantis nepriklausomai priklausantis silicio karbidu padengto grafito, tiksliai apdirbto didelio grynumo grafito gamintojas, daugiausia dėmesio skiriantis silicio karbidu dengtam grafitui, silicio karbido keramikai ir MOCVP puslaidininkių gamybos sritims. Mūsų Robot End Effector turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Robot End Effector yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų. Robot End Effector turi būti tikslių matmenų ir termiškai stabilus, o paviršius turi būti lygus, atsparus trinčiai, kad būtų galima saugiai tvarkyti plokšteles, nepažeidžiant prietaisų ir nesukeliant užteršimo kietosiomis dalelėmis. Mūsų didelio grynumo silicio karbido (SiC) danga „Robot End Effector“ užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad epi sluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas.

Roboto pabaigos efektoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300