Keraminis galo efektorius

„Semicorex“ yra jūsų pažangių grafito komponentų ir agregatų partneris, siekiant užtikrinti didesnį jūsų puslaidininkių apdorojimo įrangos našumą ir didesnį našumą. Mūsų medžiagų ekspertai yra pasiruošę dirbti su jumis, kad sukurtų optimalų tinkamą sprendimą jūsų plokštelių tvarkymo, šildymo ir apdorojimo reikalavimams. Mūsų keraminis galo efektorius turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Ceramic End Effector yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų. Galinis efektoriaus matmenys turi būti tikslūs ir termiškai stabilūs, o paviršius turi būti lygus, atsparus dilimui, kad būtų galima saugiai tvarkyti plokšteles, nepažeidžiant prietaisų ir nesukeliant užteršimo kietosiomis dalelėmis. Mūsų didelio grynumo silicio karbido keramikos galo efektorius užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad episluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas.

„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiriame aukštos kokybės, ekonomiškai efektyviam keraminiam galui, teikiame pirmenybę klientų pasitenkinimui ir siūlome ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

Keraminio galo efektoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC Î² fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	Î¼m	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 â)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300