Aliuminio oksido robotai

„Semicorex“ aliuminio oksido robotinės rankos paprastai įrengiamos plokštelių tvarkymo robotuose, tarnaujančios kaip plokštelių perkėlimas.pabaigos efektoriuskuri veikia kaip saugus ir tikslus puslaidininkinių plokštelių perkėlimas į reikiamas vietas. Per vidines oro angas ir dujų kanalus aliuminio oksido robotinės rankos gali sukurti pastovų neigiamą slėgį, kad tvirtai adsorbuotų puslaidininkines plokšteles. Šiuo adsorbcijos metodu pasiekiamas švelnus kontaktas su plokštelės paviršiumi, kuris veiksmingai apsaugo nuo nepageidaujamų paviršiaus įbrėžimų ir mechaninių pažeidimų, taip užtikrinant visapusišką puslaidininkinių plokštelių apsaugą.

Aliuminio oksido robotų rankų privalumai

Semicorex savo gaminiams taiko griežtą kokybės kontrolę, pradedant nuo žaliavų pasirinkimo.

Jo aliuminio oksido robotinės rankos yra tiksliai pagamintos iš didelio grynumoaliuminio oksidasgranuliavimo milteliai, pasižymintys puikiomis savybėmis, kaip nurodyta toliau.

1. Itin aukšta švara

„Semicorex“ aliuminio oksido robotizuotos rankos pasižymi dideliu medžiagų grynumu ir tankia mikrostruktūra, kuri leidžia išvengti metalo jonų išsiskyrimo ir mikrodalelių išsiliejimo operacijos metu, todėl visiškai atitinka griežtus puslaidininkių gamybos švaros reikalavimus.

2. Aukštos elektros izoliacijos savybės

Dėl aukštų elektros izoliacijos savybių Semicorex aliuminio oksido robotinės rankos gali sumažinti įkrovos susidarymą jų veikimo metu. Šis patikimas veikimas gali veiksmingai išvengti nepageidaujamų krūvių, kuriuos aliuminio oksido robotinės rankos perduoda puslaidininkiniams komponentams, ir sumažinti jautrių puslaidininkių komponentų pažeidimo riziką.

3. Palankus sąnaudų efektyvumas

Skirtingai nuoSiC robotinės rankos, aliuminio oksido robotinės rankos siūlo ekonomišką kainą, išlaikant stabilų veikimą. „Semicorex“ aliuminio oksido robotinės rankos užtikrina puikų mechaninį stiprumą, atsparumą dilimui, atsparumą karščiui ir atsparumą korozijai, todėl jos ilgą laiką veikia esant didelei apkrovai, veikiant aukštu dažniu, aukšta temperatūra ir labai korozinėmis darbo sąlygomis. Šis išskirtinis patvarumas efektyviai prailgina aliuminio oksido robotų rankų tarnavimo laiką, sumažindamas komponentų keitimo efektyvumą ir sąnaudas.

„Semicorex“ aliuminio oksido robotų rankų pritaikymas

„Semicorex“ aliuminio oksido robotinės rankos plačiai naudojamos puslaidininkių gamybos procedūrų priekinėje dalyje, įskaitant ėsdinimą, plonos plėvelės nusodinimą, jonų implantavimą ir CMP procesus. Jie gali stabiliai, saugiai ir tiksliai palaikyti, perkelti ir išdėstyti puslaidininkines plokšteles ir komponentus įvairiose proceso kamerose ir įrangoje vakuumo ir didelės švaros veikimo sąlygomis.