Chuck aliuminio oksidas

„Semicorex Alumina Chuck“ yra pagrindinis puslaidininkių apdorojimo įrankis, kruopščiai pagamintas iš aliuminio oksido keramikos. Ši specializuota medžiaga yra dviejų skirtingų rūšių: didelio grynumo ir įprastų tipų, kurių kiekviena turi savo pritaikymo ir savybių įvairovę.

Labai gryna aliuminio oksido keramika, kurios Al2O3 kiekis yra 99,9 % ar didesnis, įkūnija puikų grynumą ir atsparumą. Ši keramika, susidariusi sukepinimo temperatūroje nuo 1650 iki 1990 °C, pasižymi išskirtinėmis šviesos pralaidumo savybėmis bangos ilgių diapazone nuo 1 iki 6 μm. Jų universalumas apima įvairias pramonės šakas, pradedant platinos tiglių pakeitimu išlydyto stiklo įrenginiuose ir baigiant atsparumu korozinėms šarmų ir metalų jėgoms, pavyzdžiui, natrio lempoms. Elektronikos srityje jie naudojami kaip integrinių grandynų substratai ir kaip aukšto dažnio izoliacinės medžiagos.

Kita vertus, įprastinė aliuminio oksido keramika apima daugybę kompozicijų, įskaitant 99%, 95%, 90% ir daugiau, apibrėžtų atitinkamu Al2O3 kiekiu. Ši keramika patenkina daugybę poreikių, nes 99 aliuminio oksidai naudojami aukštos temperatūros tigliuose, ugniai atspariuose krosnies vamzdžiuose ir dilimui atspariuose komponentuose, pvz., keraminiuose guoliuose ir sandarikliuose. Tuo tarpu 95 aliuminio oksido variantas pasižymi atsparumu korozijai ir atsparumu dilimui. Kai kurios kompozicijos, praturtintos talku, pasižymi geresnėmis elektrinėmis savybėmis ir mechaniniu stiprumu, todėl jas lengviau integruoti į elektrinius vakuuminius įrenginius ir kitas specializuotas programas, kuriose būtina sandarinti metalais, tokiais kaip molibdenas, niobis ir tantalas.

Aliuminio griebtuvas, įkūnijantis aliuminio oksido keramikos tvirtumą ir universalumą, tampa gyvybiškai svarbiu puslaidininkių gamybos elementu. Dėl tikslios inžinerijos ir atsparumo ekstremalioms sąlygoms aliuminio oksido griebtuvas yra būtinas norint apsaugoti subtilias puslaidininkines plokšteles kritiniais apdorojimo etapais, užtikrinant galutinių produktų vientisumą ir kokybę.