Aliuminio oksido pabaigos efektorius

„Semicorex Alumina End Effector“ medžiagos pasirinkimas priklauso nuo didelio grynumo aliuminio oksido keramikos unikalaus tinkamumo atšiaurioms puslaidininkių gamybos aplinkoms: 

Išskirtinis grynumas užteršimo kontrolei: Alumina End Effector, kurio substratas yra labai gryna aliuminio oksido keramika, pasižymi itin mažu priemaišų kiekiu, užtikrinančiu, kad į jį nepateks teršalų, galinčių pakenkti jautrių puslaidininkinių įtaisų elektrinėms savybėms ar veikimui.

Aukštos temperatūros stabilumas, užtikrinantis proceso universalumą:Aliuminio oksido pabaigos efektorius pasižymi puikiu terminiu stabilumu, išlaikant savo struktūrinį vientisumą ir matmenų tikslumą net esant aukštesnėms temperatūroms, atsirandančioms tokiuose procesuose kaip terminė oksidacija, difuzija ir cheminis nusodinimas garais.

Cheminis inertiškumas atšiaurioms aplinkoms:Dėl būdingo aliuminio oksido pabaigos efektoriaus cheminio atsparumo jis yra nepralaidus daugeliui rūgščių, bazių ir tirpiklių, dažniausiai naudojamų puslaidininkių apdirbime. Šis inertiškumas apsaugo nuo korozijos ar galutinio efektoriaus degradacijos, užtikrina ilgalaikį jo veikimą ir sumažina užteršimo kietosiomis dalelėmis riziką.

Tvirtos mechaninės savybės, užtikrinančios ilgesnį tarnavimo laiką:Aliuminio oksido keramika yra žinoma dėl savo kietumo, atsparumo dilimui ir gebėjimo atlaikyti pakartotinius tvarkymo ir valymo ciklus be gedimo. Dėl šio tvirtumo pailgėja aliuminio oksido galo efektoriaus tarnavimo laikas, sumažinamos keitimo išlaidos ir prastovos.

Dėl aliuminio oksido pabaigos efektoriaus tikslumo, grynumo ir ilgaamžiškumo jis tapo esminiu daugelio svarbių puslaidininkių gamybos procesų komponentu:

Fotolitografija:Tikslus plokštelių išlygiavimas ir išdėstymas yra itin svarbūs fotolitografijoje, kur net nedideli nukrypimai gali sukelti nesutapimo klaidas ir įrenginio gedimą. Aliuminio oksido pabaigos efektorius užtikrina reikiamą tikslumą ir stabilumą šiam svarbiam proceso etapui.

Cheminis mechaninis planavimas (CMP):Dėl savo gebėjimo atlaikyti chemiškai agresyvias suspensijas ir mechanines jėgas, susijusias su CMP, aliuminio oksido pabaigos efektorius idealiai tinka tvarkyti plokšteles šio kritinio proceso metu, o tai suplokština plokštelės paviršių vėlesniam sluoksniavimui.

Vaflių tikrinimas ir metrologija:Dėl neteršiančio ir nepažeidžiančio aliuminio oksido pabaigos efektoriaus jis puikiai tinka tvarkyti plokšteles tikrinimo ir metrologijos procesų metu, užtikrinant tikslius matavimus ir sumažinant defektų atsiradimo riziką.