Silicio karbido keraminės vaflių valtys

Aukščiausios kokybės medžiagų pasirinkimas

Puikios Semicorex silicio karbido keramikos savybėsvaflinės valtysyra priskiriami aukštos kokybės žaliavoms. Pagamintos iš puslaidininkinės SiSiC medžiagos ir padengtos CVD SiC danga, Silicio karbido keraminės plokštelės pasižymi šiomis puikiomis savybėmis.

1. Itin didelio grynumo, be metalo priemaišų išsiskyrimo

Substrato priemaišos: ＜100 ppm

CVD SiC dangos priemaiša: ＜1 ppm

2. Puikus terminis stabilumas

Silicio karbido keraminės plokštelės gali stabiliai veikti esant 1250 ℃ aukštai temperatūrai, užtikrindamos minimalią deformaciją ir atsparumą šliaužimui.

3. Didelis mechaninis stiprumas

Silicio karbidaspasižymi dideliu kietumu ir atsparumu dilimui, todėl Semicorex silicio karbido keraminės valtys yra atsparios įbrėžimams, trinčiai ir pažeidimams, todėl gerai veikia ilgai ir yra atsparios pažeidimams.

4.Išskirtinis atsparumas korozijai

Kadangi silicio karbidas yra atsparus stiprių rūgščių ir šarmų sukeliamai korozijai,  Semicorex silicio karbido keraminės plokštelės gali išlaikyti savo struktūrinį vientisumą ir funkcines savybes net ir labai korozinėmis darbo sąlygomis.

Optimizuotas konstrukcijos dizainas

Semicorex silicio karbido keraminės plokštelės yra skirtos periodiniam plokštelių apdorojimui, jų optimizuota struktūrinė struktūra užtikrina stabilų partijos plokštelių palaikymą ir nuoseklų kiekvienos plokštelės proceso stabilumą.

1,3 stulpelio vertikali atraminė konstrukcija

Vertikali Semicorex silicio karbido keraminių plokštelių struktūra leidžia juos sklandžiai suderinti su vertikaliomis krosnimis. Dėl šios struktūros „emicorex“ silicio karbido keraminės plokštelės gali palengvinti homogenišką proceso dujų cirkuliaciją ir vienodą šiluminės energijos paskirstymą aukštos temperatūros krosnyje.

2.Tolygiai paskirstyti lizdai

„Semicorex“ silicio karbido keraminėse plokštelėse yra daug tiksliai apdirbtų plyšių ant jų atraminių stulpų. Jų tolygiai išdėstyti plyšių gnybtai užtikrina atitinkamą plyšio tarpą, o tai leidžia silicio karbido keraminėms plokštelėms tvirtai pritvirtinti puslaidininkines plokšteles, taip prisidedant prie plokštelių terminio apdorojimo rezultatų nuoseklumo.

Su tiek daug puikių eksploatacinių savybių ir funkcijų, Semicorex silicio karbido keraminės plokštelės yra plačiai naudojamos pagrindiniuose puslaidininkinių plokštelių gamybos procesuose, tokiuose kaip oksidacija, difuzija, jonų implantavimas ir atkaitinimas aukštoje temperatūroje.