„Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC keramikos komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūla apima eksploatacines medžiagas, skirtas plokštelių apdorojimo įrangai, pvz., Silicio karbido plokštelių valtį, konsolines irklas, vamzdelius ir kt., skirtus Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbido (SiC) konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Konsolinis irklas →
Konsolinis irklas yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzinėse arba LPCVD krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP.
Proceso vamzdelis →
Process Tube yra esminis komponentas, specialiai sukurtas įvairiose puslaidininkių apdorojimo programose, tokiose kaip RTP, difuzija.
Vaflių valtys →
„Wafer Boat“ naudojama puslaidininkių apdirbimui, ji buvo kruopščiai sukurta siekiant užtikrinti, kad subtilios plokštelės būtų saugios kritiniais gamybos etapais.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
„Semicorex“ taip pat turi keramikos gaminių iš aliuminio oksido (Al2O3), silicio nitrido (Si3N4), aliuminio nitrido (AIN), cirkonio (ZrO2), kompozicinės keramikos ir kt.
Semicorex aliuminio nitrido izoliaciniai žiedai yra nepakeičiami komponentai pažangioje puslaidininkių gamyboje, ypač aukšto dažnio terminio apdorojimo procesuose. Dėl unikalaus aukštų temperatūrų stabilumo, puikių sandarinimo savybių, išskirtinio šilumos laidumo ir būdingo patvarumo derinio jie yra būtini norint užtikrinti tikslų proceso valdymą, didelę įrenginių našumą ir ilgesnį įrangos eksploatavimo laiką sudėtingoje puslaidininkių gamybos aplinkoje. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės aliuminio nitrido izoliacinius žiedus, kurie suderina kokybę ir ekonomiškumą.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ aliuminio nitrido elektrostatiniai griebtuvai siūlo įtikinamą savybių derinį, todėl jie idealiai tinka puslaidininkinių plokštelių apdorojimo reikmėms. Jų gebėjimas užtikrinti saugų ir vienodą plokštelių tvirtinimą, puikų šilumos valdymą ir atsparumą atšiaurioms apdorojimo aplinkoms reiškia geresnį įrenginio veikimą, didesnį derlių ir sumažintas gamybos sąnaudas. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės aliuminio nitrido elektrostatinius griebtuvus, kurie suderina kokybę ir ekonomiškumą.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai yra labai svarbūs pažangios puslaidininkių gamybos įtaisai, tenkinantys didėjančius tikslumo, švaros ir našumo reikalavimus. Dėl puikių medžiagų savybių gaunama apčiuopiama nauda per visą plokštelių gamybos procesą, galiausiai prisidedant prie didesnio derlingumo, geresnio įrenginio veikimo ir mažesnių bendrų gamybos sąnaudų. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti didelio našumo SiC plokštelių tikrinimo griebtuvus, kurie suderina kokybę ir ekonomiškumą.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, taip pat žinomas kaip plokštelių tvarkymo keraminė roboto ranka arba keraminės silicio plokštelės valdymo šakutė, yra didelio našumo puslaidininkinės įrangos komponentas. Jo konstrukcija atsižvelgia į griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo dilimui, cheminio stabilumo ir puikių elektros izoliacijos savybių aliuminio oksido keramikos svirtis atlieka nepakeičiamą vaidmenį pasaulinėje puslaidininkių gamybos pramonėje. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės aliuminio oksido keramikos robotinę svirtį, kuri suderina kokybę ir ekonomiškumą.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąDėl pažangių Semicorex SiC difuzijos krosnies vamzdžių medžiagų savybių, įskaitant didelį atsparumą lenkimui, išskirtinį atsparumą oksidacijai ir korozijai, didelį atsparumą dilimui, mažą trinties koeficientą, puikias mechanines savybes aukštoje temperatūroje ir ypač aukštą grynumą, jis yra būtinas puslaidininkių pramonėje. , ypač difuzinėms krosnims. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės SiC difuzinės krosnies vamzdžius, kurie suderina kokybę su ekonomišku efektyvumu.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausąAukštos kokybės medžiagų savybėmis pasižyminti Semicorex SiC difuzinė valtis pasižymi optimaliu funkcionalumu įvairiais eksploataciniais parametrais: kietumu, atsparumu, terminiu ir cheminiu atsparumu ir kt. Šis medžiagos pasirinkimas yra labai svarbus siekiant sumažinti užteršimo riziką, apsaugoti plokšteles ir ištverti sudėtingos sąlygos puslaidininkių gamybos procesuose. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės SiC difuzijos valtį, kuri suderina kokybę su ekonomišku efektyvumu.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą