Silicio karbido keramikamentelės paprastai įrengiamos šalia krosnies angos arba proceso kameros, kurių vienas galas yra fiksuotas, o kitas galas tęsiasi į krosnį arba proceso kamerą. Apdorojimo metu silicio karbido keraminės mentelės tiksliai nustato plokštelių laikiklį, nešantį plokšteles, nurodytoje vietoje krosnies arba proceso kameros viduje. Po apdorojimo konsolinės mentelės paima laikiklį ir iškelia jį iš krosnies arba kameros bei perduoda robotinei rankai kitam tvarkymo etapui.

Semicorex silicio karbido keraminių mentelių privalumai

1. Aukščiausios savybės ir patikima kokybė

Semicorex silicio karbido keraminės mentelės užtikrina puikų stabilumą aukštoje temperatūroje, didelį stiprumą, didelį kietumą, cheminį stabilumą ir mažą šiluminio plėtimosi koeficientą. Dėl šių puikių savybių Semicorex silicio karbido keraminės mentelės gali ilgą laiką atlaikyti sudėtingas eksploatavimo sąlygas, tokias kaip aukšta temperatūra, stipri korozija, didelė apkrova ir dažnas mechaninis veikimas.

2. Tikslus palaikymas ir transportavimas

Pasitikėdamas puikiu atramos ir transportavimo našumu, Semicorexsilicio karbido keraminės mentelėsgali tiksliai pritvirtinti plokštelių laikiklius, kad būtų užtikrintas plokštelių koncentriškumas krosnies vamzdžių atžvilgiu, o tai žymiai sumažina proceso nenuoseklumą, atsirandantį dėl plokštelių drebėjimo ir nesutapimo proceso metu.

3. Labai efektyvus automatizuotas veikimas

„Semicorex“ silicio karbido keraminės mentelės paprastai veikia kartu su automatizuotomis pakrovimo ir tvarkymo sistemomis, kad būtų užtikrintas greitas plokštelių pakrovimas ir iškrovimas. Tai žymiai sutrumpina procesų ciklus puslaidininkių ir fotovoltinių elementų gamyboje, pagerina gamybos efektyvumą ir sumažina rankinio darbo sąnaudas bei klaidų riziką.

Semicorex silicio karbido keraminių mentelių pritaikymas

1. Fotovoltinių elementų gamyba

Semicorex silicio karbido keraminės mentelės puikiai tinka fotovoltinių elementų šiluminiams procesams, tokiems kaip TOPCon ir PERC elementų difuzija, LPCVD ir PECVD. Pasiekdamos proceso vienodumą ir stabilumą, šios mentelės prisideda prie fotovoltinių elementų konversijos efektyvumo gerinimo.

2. Puslaidininkinių lustų gamyba

Semicorex silicio karbido keraminės mentelės, kurios yra pagrindiniai atraminiai ir transportuojantys komponentai, yra plačiai taikomi tokiuose procesuose kaip litografija, ėsdinimas ir nusodinimas puslaidininkinių lustų gamybos metu, todėl galima nuolat stabiliai perkelti ir tiksliai nustatyti plokšteles.