SiC irklas

Semicorex SiC mentelės yra plokštelių „nešikliai“, nešantys plokšteles į krosnis, karštesnes nei 1000 laipsnių Celsijaus. Tai yra pagrindinis jų pranašumas: didelis grynumas, stabilumas aukštoje temperatūroje, kad būtų išlaikytas mechaninis standumas gabenant mėginį ekstremalioje aplinkoje. Labai grynos medžiagos yra veiksmingos, kad metalo priemaišos neužterštų plokštelės; taip pat aukštos temperatūros stabilumassilicio karbidas, nes jis išlaikys cheminį stabilumą esant tokioms apdorojimo temperatūroms, kurios neleidžia metalo priemaišoms ar dalelėms užteršti plokštelės, užtikrinant stabilų plokštelės išeigą. Galiausiai,konsoliniai irklaitaip pat yra suderinami su integruotomis plokštelių perdavimo sistemomis, todėl dar labiau sumažėja priklausomybė nuo žmonių ir padidėja pralaidumas.

SiC mentelės yra unikalus laikiklio komponentas, skirtas puslaidininkinių plokštelių transportavimui ir integravimui į partijos darbo krūvį tokiuose procesuose kaip oksidacija ir difuzija aukštoje temperatūroje ir kt. Pagaminta didelio grynumosilicio karbidas (SiC), SiC irklai užtikrina terminį stabilumą, mechaninį stiprumą ir cheminį patvarumą, kad būtų užtikrintas stabilus transportavimas aukštesnėje nei 1000 °C temperatūroje. SiC mentelės reikalingos plokštelių apdorojimui: jie užtikrins, kad trapūs substratai būtų tinkamai tvarkomi, išlaikant vientisumą ir nuoseklumą per visą oksidacijos, difuzijos ir atkaitinimo procesą.

Sukurti taip, kad būtų tvirti ir patikimi, SiC irklai yra konsolės tipo svirtis, laikanti vaflių valteles arba plokštelių rietuves. Mentelė palaiko plokšteles, kol jos įdedamos arba išimamos iš proceso kameros. Įprastos medžiagos sugenda esant tokioms aukštoms temperatūroms dėl deformacijos, deformacijos ar cheminio irimo. Silicio karbido mechaninis stabilumas ir struktūrinis vientisumas leidžia irklui išgyventi kelis terminius ciklus neprarandant formos ar funkcijos. Ši galimybė yra svarbi norint išlaikyti krosnies išlyginimą, užtikrinti, kad plokštelės nebūtų pažeistos proceso metu, ir sumažinti brangias prastovos laiką.

SiC Paddles šiluminis stabilumas papildytas puikiu cheminiu atsparumu reaktyviosioms dujoms, kurios paprastai atsiranda oksidacijos ir difuzijos procesuose (pvz., deguoniui, chlorui ir kitoms agresyvioms rūšims esant aukštai temperatūrai). Daugelis medžiagų bus sunaikintos arba užterštos, kai bus veikiamos aukštos temperatūros ir deguonies. Silicio karbidas yra chemiškai inertiškas, o jo tanki mikrostruktūra užtikrina, kad nevyks cheminių reakcijų, taip užtikrinant irklo struktūrinį vientisumą ir švarią aplinką plokštelei. Puslaidininkių gamintojų, dirbančių kai kuriuose pažangiausiuose proceso mazguose, kuriuose net užterštos mikroelementai gali sukelti reikšmingų įrenginio veikimo pokyčių, užteršimo rizika yra minimali.

Mechaninis vientisumas, susijęs su SiC irklais, taip pat suteikia naudos atliekant tvarkymo procesus. Konsolinei konstrukcinei formai reikalinga medžiaga, kuri gali išlaikyti sluoksnių krūvas ir nelankstyti ar svyruoti. Labai didelis silicio karbido modulis ir labai didelis kietumas leidžia gerai atsižvelgti į būtiną mechaninę konstrukcinę funkciją. „SiC Paddle“ išlaiko plokštumą ir struktūrą net apkrautas plokštelėmis. Tai reiškia nuolatinę krosnies ir jos sąlygų kontrolę ilgą gamybos laikotarpį.