TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių smulkiu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD).
Tantalo karbidas (TaC) yra junginys, susidedantis iš tantalo ir anglies. Jis pasižymi metaliniu elektriniu laidumu ir ypač aukšta lydymosi temperatūra, todėl tai ugniai atspari keraminė medžiaga, žinoma dėl savo stiprumo, kietumo ir atsparumo karščiui bei dilimui. Tantalo karbidų lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 ° C, priklausomai nuo grynumo ir yra viena iš aukščiausių lydymosi taškų tarp dvejetainių junginių. Dėl to tai yra patraukli alternatyva, kai aukštesnės temperatūros poreikiai viršija efektyvumo galimybes, naudojamas sudėtinių puslaidininkių epitaksiniuose procesuose, tokiuose kaip MOCVD ir LPE.
Semicorex TaC dangos medžiagų duomenys
Projektai |
Parametrai |
Tankis |
14,3 (gm/cm³) |
Emisyvumas |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kietumas (HK) |
2000 |
Atsparumas (omų cm) |
1×10-5 |
Terminis stabilumas |
<2500 ℃ |
Grafito matmenų keitimas |
-10~-20um (atskaitos vertė) |
Dangos storis |
≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
|
|
Aukščiau pateiktos tipinės vertės |
|
„Semicorex TaC Coating Guide“ žiedas yra svarbiausia metalo ir organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) įrangos dalis, užtikrinanti tikslų ir stabilų pirmtakų dujų tiekimą epitaksinio augimo proceso metu. TaC dangos kreipiamasis žiedas pasižymi daugybe savybių, dėl kurių jis idealiai tinka ekstremalioms MOCVD reaktoriaus kameros sąlygoms.**
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC Coating Wafer Chuck“ yra naujovių viršūnė puslaidininkių epitaksijos procese, kritiniame puslaidininkių gamybos etape. Įsipareigodami tiekti aukščiausios kokybės produktus konkurencingomis kainomis, esame pasirengę būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex MOCVD Susceptor“ su TaC danga yra pažangiausias komponentas, kruopščiai sukurtas siekiant optimalaus našumo puslaidininkių epitaksijos procesuose MOCVD sistemose. „Semicorex“ nepajudinamai siekia tiekti aukščiausios kokybės produktus labai konkurencingomis kainomis. Mes norime užmegzti ilgalaikę partnerystę su jumis Kinijoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex CVD TaC padengtas žiedas karaliauja kaip svarbus puslaidininkių apdorojimo komponentas, simbolizuojantis šiuolaikinės medžiagų inžinerijos zenitą. Šis žiedas, sukurtas naudoti griežčiausioje aplinkoje, kur karaliauja tikslumas ir patikimumas, įkūnija pažangiausių dengimo technikų ir atsparių medžiagų mokslą. „Semicorex“ nuolat tiekia aukščiausios klasės produktus konkurencingomis kainomis, o mes nekantriai tikimės užmegzti ilgalaikę partnerystę su jumis Kinijoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex TaC padengtas planetinis susceptorius yra labai specializuotas komponentas, skirtas naudoti puslaidininkių gamybos epitaksiniuose procesuose. Semicorex yra pasiryžusi tiekti aukščiausios kokybės produktus konkurencingomis kainomis. Mes norime užmegzti ilgalaikę partnerystę su jumis Kinijoje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex tantalo karbido dangos kreipiamasis žiedas yra pažangus komponentas, specialiai sukurtas puslaidininkių pramonei, vaidinantis lemiamą vaidmenį auginant silicio karbido (SiC) kristalus. Šis produktas sukurtas taip, kad atitiktų griežtus aukštos temperatūros ir didelio įtempimo aplinkos reikalavimus, būdingus puslaidininkių kristalų augimo procesams. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje*.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą