TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių smulkiu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD).
Tantalo karbidas (TaC) yra junginys, susidedantis iš tantalo ir anglies. Jis pasižymi metaliniu elektriniu laidumu ir ypač aukšta lydymosi temperatūra, todėl tai ugniai atspari keraminė medžiaga, žinoma dėl savo stiprumo, kietumo ir atsparumo karščiui bei dilimui. Tantalo karbidų lydymosi temperatūra yra maždaug 3880 ° C, priklausomai nuo grynumo ir yra viena iš aukščiausių lydymosi taškų tarp dvejetainių junginių. Dėl to tai yra patraukli alternatyva, kai aukštesnės temperatūros poreikiai viršija efektyvumo galimybes, naudojamas sudėtinių puslaidininkių epitaksiniuose procesuose, tokiuose kaip MOCVD ir LPE.
Semicorex TaC dangos medžiagų duomenys
Projektai |
Parametrai |
Tankis |
14,3 (gm/cm³) |
Emisyvumas |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kietumas (HK) |
2000 |
Atsparumas (omų cm) |
1×10-5 |
Terminis stabilumas |
<2500 ℃ |
Grafito matmenų keitimas |
-10~-20um (atskaitos vertė) |
Dangos storis |
≥20um tipinė vertė (35um±10um) |
|
|
Aukščiau pateiktos tipinės vertės |
|
„Semicorex TaC Coated Susceptor“ (tantalo karbidu padengtas susceptorius) yra labai specializuotas komponentas, naudojamas puslaidininkių gamyboje ir kitose aukštos temperatūros srityse. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex tantalo karbido dangos griebtuvas yra tiksliai suprojektuotas komponentas, skirtas naudoti aukštos temperatūros ir didelio įtempimo aplinkoje. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex CVD TaC Coating Ring“ yra didelio našumo komponentas, sukurtas sudėtingoms reikmėms, kurioms reikalingas išskirtinis atsparumas dilimui, terminis stabilumas ir cheminis inertiškumas. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex TaC Coating Planetary Plate“ yra didelio našumo komponentas, sukurtas specialiai MOCVD sistemoms. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon yra specializuotas komponentas, sukurtas didelio našumo epitaksiniams procesams puslaidininkių gamyboje. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ tantalo karbido danga „Halfmoon Part“ yra labai specializuotas komponentas, skirtas naudoti epitaksinio nusodinimo procese. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą