TaC dangos kreipiamasis žiedas

FunkcijaTaC dangos kreipiamasis žiedas:

Tikslus dujų srauto valdymas:TaC dangos kreipiamasis žiedas yra strategiškai išdėstytas MOCVD reaktoriaus dujų įpurškimo sistemoje. jo pagrindinė funkcija yra nukreipti pirmtakų dujų srautą ir užtikrinti vienodą jų pasiskirstymą per substrato plokštelės paviršių. Šis tikslus dujų srauto dinamikos valdymas yra būtinas norint pasiekti vienodą epitaksinio sluoksnio augimą ir norimas medžiagos savybes.

Šilumos valdymas:TaC dangos kreipiamasis žiedas dažnai veikia aukštesnėje temperatūroje, nes yra arti šildomo susceptoriaus ir substrato. Puikus TaC šilumos laidumas padeda efektyviai išsklaidyti šilumą, apsaugo nuo vietinio perkaitimo ir palaiko stabilų temperatūros profilį reakcijos zonoje.

TaC privalumai MOCVD:

Atsparumas ekstremalioms temperatūroms:TaC gali pasigirti vienu aukščiausių lydymosi taškų tarp visų medžiagų, viršijančiu 3800°C. 

Išskirtinis cheminis inertiškumas:TaC pasižymi išskirtiniu atsparumu korozijai ir cheminiam poveikiui, kurį sukelia reaktyvios pirmtakų dujos, naudojamos MOCVD, pavyzdžiui, amoniakas, silanas ir įvairūs metalo-organiniai junginiai.

TaC ir SiC atsparumo korozijai palyginimas

Maža šiluminė plėtra:Mažas TaC šiluminio plėtimosi koeficientas sumažina matmenų pokyčius dėl temperatūros svyravimų MOCVD proceso metu. 

Didelis atsparumas dilimui:TaC kietumas ir ilgaamžiškumas užtikrina puikų atsparumą nusidėvėjimui dėl nuolatinio dujų ir galimų kietųjų dalelių srauto MOCVD sistemoje. 

MOCVD našumo pranašumai:

„Semicorex TaC Coating Guide Ring“ naudojimas MOCVD įrangoje labai prisideda prie:

Patobulintas epitaksinio sluoksnio vienodumas:Tikslus dujų srauto valdymas, kurį palengvina TaC dangos kreipiamojo žiedas, užtikrina tolygų pirmtakų pasiskirstymą, todėl epitaksinis sluoksnis auga labai tolygiai, o storis ir sudėtis yra vienodi.

Patobulintas proceso stabilumas:TaC terminis stabilumas ir cheminis inertiškumas prisideda prie stabilesnės ir kontroliuojamos reakcijos aplinkos MOCVD kameroje, sumažinant proceso pokyčius ir pagerinant atkuriamumą.

Padidėjęs įrangos veikimo laikas:Dėl TaC dangos kreipiamojo žiedo ilgaamžiškumo ir ilgesnės eksploatacijos trukmės sumažėja poreikis dažnai keisti, sumažinant techninės priežiūros prastovos laiką ir maksimaliai padidinant MOCVD sistemos veikimo efektyvumą.