Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir cheminėms medžiagoms, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkinių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai â
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius â
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių.
Įleidimo žiedai â
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremaliose aplinkose.
Fokusavimo žiedas â
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas â
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Pristatome Wafer Transfer Hand, kurią sukūrė ir pagamino mūsų ekspertų komanda Kinijoje, šis gaminys yra specialiai sukurtas taip, kad būtų užtikrintas saugus ir efektyvus plokštelių perkėlimas iš vienos vietos į kitą nepažeidžiant subtilaus paviršiaus.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex pažangūs, didelio grynumo silicio karbidu dengti komponentai yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalią aplinką plokštelių tvarkymo procese. Mūsų puslaidininkinis plokštelinis griebtuvas turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąPuikiai tinka naujos kartos litografijai ir plokštelių apdorojimui. Semicorex itin gryni keraminiai komponentai užtikrina minimalų užteršimą ir išskirtinai ilgą tarnavimo laiką. Mūsų Vakuuminis griebtuvas turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ patvarūs fokusavimo žiedai, skirti puslaidininkių apdorojimui, yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalią plazmos ėsdinimo kamerų, naudojamų puslaidininkių apdorojimui, aplinką. Mūsų fokusavimo žiedai pagaminti iš didelio grynumo grafito, padengto tankia, dilimui atsparia silicio karbido (SiC) danga. SiC danga pasižymi didelėmis atsparumo korozijai ir karščiui savybėmis, taip pat puikiu šilumos laidumu. SiC plonais sluoksniais tepame ant grafito, naudodami cheminio garų nusodinimo (CVD) procesą, kad pagerintume fokusavimo žiedų tarnavimo laiką.
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex Plazminio apdorojimo fokusavimo žiedas yra specialiai sukurtas taip, kad atitiktų aukštus plazminio ėsdinimo apdorojimo reikalavimus puslaidininkių pramonėje. Mūsų pažangūs, didelio grynumo silicio karbidu dengti komponentai sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalią aplinką ir yra tinkami naudoti įvairiose srityse, įskaitant silicio karbido sluoksnius ir epitaksinius puslaidininkius.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ pažangūs, didelio grynumo SiC fokusavimo žiedai yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalią aplinką plazminio ėsdinimo (arba sauso ėsdinimo) kamerose. Mes orientuojamės į puslaidininkių pramonę, pvz., silicio karbido sluoksnius ir epitaksinius puslaidininkius. Mūsų gaminiai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą