Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir stiprų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, užtikrinančią puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius →
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
„Semicorex SiC Heating Filament“ yra silicio karbidu dengtas grafito šildytuvas, skirtas šildymui pažangioje puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus Semicorex, reikia pasirinkti patikimą partnerį, kuris tiektų itin švarias medžiagas, tiksliai pritaikytų individualiems poreikiams ir ilgalaikį veikimą reikliausių terminių procesų atveju.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex silicio karbido griebtuvai yra specialiai sukurti fotolitografijos įrangai ir turi daug privalumų, tokių kaip didelis tikslumas, itin lengvas svoris, didelis standumas, mažas šiluminio plėtimosi koeficientas ir puikus atsparumas dilimui.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC Furnace Tubes“ yra didelio grynumo silicio karbido vamzdis, pagamintas naudojant pažangią 3D spausdinimo technologiją, skirtas aukštos temperatūros fotovoltiniams procesams. „Semicorex“ siūlo pažangiausius SiC sprendimus, pasižyminčius išskirtiniu stiprumu, stabilumu ir patikimumu, kuriais pasitiki saulės energijos pramonė visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ mentelės yra didelio grynumo silicio karbido konsolės, skirtos plokštelių transportavimui aukštos temperatūros oksidacijos ir difuzijos krosnyse, kurių temperatūra viršija 1000 ℃. Pasirinkus Semicorex, užtikrinama išskirtinė medžiagų kokybė, tiksli inžinerija ir ilgalaikis patikimumas, kuriuo pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC Focus Ring yra didelio grynumo silicio karbido žiedo komponentas, skirtas optimizuoti plazmos pasiskirstymą ir plokštelių proceso vienodumą puslaidininkių gamyboje. Pasirinkus Semicorex, užtikrinama pastovi kokybė, pažangi medžiagų inžinerija ir patikimas veikimas, kuriuo pasitiki pirmaujantys puslaidininkių gamintojai visame pasaulyje.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ vaflinių kraštų šlifavimo chuckas yra keraminis diskas, pagamintas iš aukšto grynumo baltojo aliuminio oksido, skirtas plonio briaunų šlifavimui puslaidininkių gamyboje. „Semicorex“ pasirinkimas užtikrina puikią medžiagų kokybę, tikslią inžineriją ir patikimą našumą, palaikantį reikliausią vaflių apdorojimo aplinką.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą