Kaip profesionalus gamintojas, norėtume pateikti jums puslaidininkinius komponentus. „Semicorex“ yra jūsų partneris tobulinant puslaidininkių apdorojimą. Mūsų silicio karbido dangos yra tankios, atsparios aukštai temperatūrai ir chemikalams, kurios dažnai naudojamos visame puslaidininkių gamybos cikle, įskaitant puslaidininkių plokštelių ir plokštelių apdorojimą bei puslaidininkių gamybą.
Didelio grynumo SiC dengti komponentai yra labai svarbūs puslaidininkių procesams. Mūsų pasiūlymas svyruoja nuo grafito eksploatacinių medžiagų, skirtų kristalų auginimo karštoms zonoms (šildytuvai, tiglio susceptoriai, izoliacija), iki didelio tikslumo grafito komponentų plokštelių apdorojimo įrangai, pavyzdžiui, silicio karbidu padengtų grafito susceptorių, skirtų Epitaxy arba MOCVD.
Puslaidininkinių procesų pranašumai
Plonos plėvelės nusodinimo fazės, tokios kaip epitaksija arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimas, pvz., ėsdinimas ar jonų implantavimas, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir stiprų cheminį valymą. „Semicorex“ tiekia didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, užtikrinančią puikų atsparumą karščiui ir patvarų cheminį atsparumą, tolygų šiluminį vienodumą, kad būtų užtikrintas pastovus epi sluoksnio storis ir atsparumas.
Kamerų dangteliai →
Kameros dangčiai, naudojami kristalų auginimui ir plokštelių apdorojimui, turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą.
Pabaigos efektorius →
Galinis efektorius yra roboto ranka, kuri perkelia puslaidininkines plokšteles tarp plokštelių apdorojimo įrangos ir laikiklių pozicijų.
Įleidimo žiedai →
SiC dengtas dujų įleidimo žiedas su MOCVD įranga. Junginio augimas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
Fokusavimo žiedas →
„Semicorex“ tiekia Silicio karbidu padengtas fokusavimo žiedas yra tikrai stabilus RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui.
Vaflinis Chuckas →
Semicorex itin plokšti keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra padengti didelio grynumo SiC, naudojami plokštelių tvarkymo procese.
Semicorex Silicon Pjedestal Boat yra 9N itin gryno plokštelių laikiklis, sukurtas tiksliai ir stabiliai palaikyti plokšteles aukštoje temperatūroje vykstančių oksidacijos, difuzijos ir LPCVD procesuose. Pasirinkite Semicorex, jei norite neprilygstamo medžiagų grynumo, tikslaus apdirbimo ir įrodyto patikimumo*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex Silicon Injector“ yra itin didelio grynumo vamzdinis komponentas, sukurtas tiksliam ir neužterštam dujų tiekimui LPCVD polisilicio nusodinimo procesuose. Pasirinkite Semicorex, kad pasiektumėte pirmaujančią pramonėje grynumą, precizišką apdirbimą ir įrodytą patikimumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex Silicon Wafer Boat yra didelio grynumo laikiklis, skirtas puslaidininkinėms aukštos temperatūros krosnims, palaikantis plokšteles oksidacijos ir redukcijos procesų metu 1200–1250 °C temperatūroje. „Semicorex“ siūlo puikius produktus, itin švarų veikimą ir patikimus rezultatus, kurie tiesiogiai padidina įrenginio našumą.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex Silicon Shield Ring yra didelio grynumo silicio komponentas, sukurtas pažangioms plazminio ėsdinimo sistemoms, tarnaujantis ir kaip apsauginis skydas, ir kaip pagalbinis elektrodas. „Semicorex“ užtikrina itin švarų veikimą, proceso stabilumą ir puikius ėsdinimo rezultatus naudojant tiksliai sukonstruotus puslaidininkinius komponentus.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausąSemicorex SiC Ceramic Paddle yra didelio grynumo konsolinis komponentas, sukurtas puslaidininkinėms aukštos temperatūros krosnims, daugiausia naudojamas oksidacijos ir difuzijos procesuose. Pasirinkus Semicorex, turėsite prieigą prie pažangių keramikos sprendimų, užtikrinančių išskirtinį stabilumą, švarą ir ilgaamžiškumą, kai reikia apdoroti plokšteles.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex SiC“ dengtos „Halfmoon Parts“ yra tiksliai suprojektuoti komponentai, sukurti kaip esminiai epitaksinės įrangos elementai, kur dvi pusmėnulio formos dalys sujungiamos ir sudaro visą šerdies mazgą. Semicorex pasirinkimas reiškia patikimų, didelio grynumo ir patvarių sprendimų, užtikrinančių stabilų plokštelių palaikymą ir efektyvų šilumos laidumą pažangiai puslaidininkių gamybai.*
Skaityti daugiauSiųsti užklausą