Silicio oforto žiedai

Silicio ėsdinimo žiedai yra pagrindiniai CCP/ICP ėsdinimo įrangos plazminio ėsdinimo kameros komponentai ir paprastai dedami aplink puslaidininkinę plokštelę. Pagrindinės jų funkcijos yra palaikyti puslaidininkinę plokštelę, palaikyti tolygų plazmos pasiskirstymą, apsaugoti plokštelės kraštą ir taip padėti sukurti optimalias plazminio ėsdinimo proceso veikimo sąlygas.

Silicio ėsdinimo žiedų Semicorex privalumai

1. Aukščiausios kokybės medžiagų pasirinkimas

Silicio ėsdinimo žiedai Semicorex gaminami iš kruopščiai atrinkto didelio grynumo MCZmonokristalinis silicis, kuris pasižymi šiomis puikiomis savybėmis, palyginti su įprastu CZ monokristaliniu siliciu.

Didelis grynumas: Grynumas viršija 99,9999999%, o tai reiškia, kad Semicorex silicio ėsdinimo žieduose beveik nėra priemaišų. Šis ypač aukštas grynumas gali veiksmingai išvengti komponentų priemaišų trukdžių ėsdinimo proceso metu ir taip užtikrinti aukštą ėsdinimo tikslumą.

Stabili konstrukcija: MCZ monokristalinis silicis pasižymi puikia kristalų struktūra ir mažesniais defektais nei įprastas CZ monokristalinis silicis. Ši stabili kristalų struktūra suteikia Semicorex silicio ėsdinimo žiedams didesnį atsparumą korozijai ir plazmos korozijai bei leidžia jiems atlaikyti atšiaurias ėsdinimo sąlygas.

Puikus varžos vienodumas:Semicorex silicio ėsdinimo žiedaiužtikrina išskirtinį atsparumo vienodumą, kai RRG < 5%. Žemos raiškos (<0,02 Ω·cm), vidurinė skiriamoji geba. (0,2–25 Ω·cm), didelės raiškos (>100 Ω·cm). Šis puikus varžos tolygumas gali sumažinti netolygų plazmos pasiskirstymą, kurį sukelia pernelyg didelė arba maža varža, o tai prisideda prie idealaus elektrinio lauko didelio tikslumo plazminiam ėsdinimui.

2. Tikslus apdorojimas ir griežta kokybės patikra

„Semicorex“ gali pasigirti patyrusia technine komanda, kuri gali pateikti individualų pritaikymą ir techninius įvertinimus mūsų vertinamiems klientams, taip pat nustatė sistemingas apdorojimo ir tikrinimo procedūras, kad garantuotų produktų kokybę.

Lanksčios pritaikymo paslaugos: „Semicorex“ palaiko pritaikymą pagal kliento brėžinius, o maksimalus pritaikytas silicio ėsdinimo žiedų skersmuo gali būti iki 470 mm.

Aukštos kokybės paviršiaus apdorojimas: poliravimo tikslumas gali būti griežtai kontroliuojamas, kai Ra < 0,1 µm, o smulkiai šlifuojant pasiekiamas Ra > 0,1 µm paviršiaus apdaila.

Griežta kokybės patikra: matmenys, varžos bandymai ir vizualinė patikra bus atliekami siekiant užtikrinti, kad silicio ėsdinimo žieduose nebūtų drožlių, įbrėžimų, įtrūkimų, dėmių ir kitų defektų.