Silicio purkštukas

„Semicorex Silicon Injector“ yra itin didelio grynumo komponentas, skirtas tiksliai tiekti dujas žemo slėgio cheminio nusodinimo iš garų (LPCVD) sistemose, skirtose polisilicio ir plonasluoksnio nusodinimui. Pagaminta iš 9N (99,9999999%)didelio grynumo silicis„Semicorex Silicon Injector“ yra itin didelio grynumo komponentas, skirtas tiksliai tiekti dujas žemo slėgio cheminio nusodinimo iš garų (LPCVD) sistemose, skirtose polisilicio ir plonasluoksnio nusodinimui. Pagaminta iš 9N (99,9999999%)

Kadangi puslaidininkių gamyba ir toliau tobulėja iki aukštesnio integravimo lygio ir griežčiau kontroliuojant užterštumą, kiekvienas dujų tiekimo komponentas nusodinimo kameroje taip pat turės atitikti aukštesnius standartus nei anksčiau. Semicorex Silicon Injector buvo sukurtas specialiai tokio tipo reikalavimams – stabiliai ir vienodai tiekia dujines medžiagas visoje reakcijos kameroje, neužteršdamas, kuris neigiamai paveiktų plėvelės kokybę arba plokštelių išeigą.

Kiekvienas purkštukas gaminamas naudojant pažangiausią CNC apdirbimą ir poliravimą, todėl pasiekiami mažesnių mikronų matmenų nuokrypiai ir itin sklandus paviršiaus apdaila. Aukštos kokybės paviršiaus apdaila sumažina dujų turbulenciją, sukuria labai mažai dalelių arba jų visai nėra, tuo pačiu užtikrinant pastovias srauto charakteristikas esant nenuosekliems šilumos ir slėgio pokyčiams. Tiksli gamyba užtikrina griežtai kontroliuojamus procesus, atkuriamus patikimus rezultatus, taigi ir nuoseklų įrangos veikimą.

Speciali vamzdinė silicio purkštuko struktūra leidžia kontroliuoti ir tolygiai paskirstyti dujas per vienodą plokštelės apkrovą. Mikrokonstrukcijos angos ir lygus vidinis paviršius užtikrina atkuriamus srautus ir laminarinę dujų dinamiką, kuri yra labai svarbi pastoviam plėvelės storiui ir stabiliam nusodinimo greičiui krosnyje. Nesvarbu, ar tai silanas (SiH₄), dichlorsilanas (SiH₂Cl2), ar kitos reaktyvios dujos, purkštukas pasižymi patikimu veikimu ir tikslumu, reikalingu geros kokybės polisilicio plėvelės augimui.

Kiekvienas purkštukas gaminamas naudojant pažangiausią CNC apdirbimą ir poliravimą, todėl pasiekiami mažesnių mikronų matmenų nuokrypiai ir itin sklandus paviršiaus apdaila. Aukštos kokybės paviršiaus apdaila sumažina dujų turbulenciją, sukuria labai mažai dalelių arba jų visai nėra, tuo pačiu užtikrinant pastovias srauto charakteristikas esant nenuosekliems šilumos ir slėgio pokyčiams. Tiksli gamyba užtikrina griežtai kontroliuojamus procesus, atkuriamus patikimus rezultatus, taigi ir nuoseklų įrangos veikimą.

Kiekvienas purkštukas gaminamas naudojant pažangiausią CNC apdirbimą ir poliravimą, todėl pasiekiami mažesnių mikronų matmenų nuokrypiai ir itin sklandus paviršiaus apdaila. Aukštos kokybės paviršiaus apdaila sumažina dujų turbulenciją, sukuria labai mažai dalelių arba jų visai nėra, tuo pačiu užtikrinant pastovias srauto charakteristikas esant nenuosekliems šilumos ir slėgio pokyčiams. Tiksli gamyba užtikrina griežtai kontroliuojamus procesus, atkuriamus patikimus rezultatus, taigi ir nuoseklų įrangos veikimą.

„Semicorex“ gamina pagal užsakymą pagamintus silicio purkštukus, kurių ilgis, skersmuo ir purkštukų konfigūracijos. Gali būti sukurti pritaikyti sprendimai, siekiant pagerinti dujų sklaidos modelius vienkartinėms reaktorių geometrijoms arba nusodinimo receptams. Kiekvienas purkštukas yra tikrinamas ir patikrinamas, ar jo grynumas yra aukščiausio lygio puslaidininkių klasė.silicio komponentai.

Semicorex Silicon Injector užtikrina tikslumą ir grynumą, kurio reikia šiandienos puslaidininkių gamyboje. 9N itin gryno silicio, mikronų lygio apdirbimo tikslumas ir didelis terminis bei cheminis stabilumas užtikrina tolygų dujų pasiskirstymą, mažesnį dalelių susidarymą ir išskirtinį patikimumą nusodinant LPCVD polisilicis.