Silicio karbido SiC padengtas cilindrinis susceptorius

„Semicorex“ yra pirmaujantis nepriklausomai priklausantis silicio karbidu dengto cilindrinio susceptoriaus, preciziškai apdoroto didelio grynumo grafito gamintojas, daugiausia dėmesio skiriantis silicio karbido dengtam grafitui, silicio karbido keramikai ir MOCVP puslaidininkių gamybos sritims. Mūsų silicio karbido SiC padengtas cilindrinis susceptorius turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

SemicorexSilicio karbido SiC padengtas cilindrinis susceptoriusyra grafito gaminys, padengtas labai išgrynintu SiC, kuris pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai. Jis tinka LPE. TheSilicio karbidasSiC padengtas cilindrinis susceptorius naudojamas procesuose, kurie sudaro epiksinį sluoksnį ant puslaidininkinių plokštelių, pasižyminčių dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsųSilicio karbidasSiC padengtas statinės susceptorius.

ParametraiPadengtas silicio karbidu SiCStatinės imtuvas

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SavybėsPadengtas silicio karbidu SiCStatinės imtuvas

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.