SiC dengta epitaksinio reaktoriaus statinė

„Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel“ yra aukščiausios kokybės grafito gaminys, padengtas didelio grynumo SiC. Dėl puikaus tankio ir šilumos laidumo jis yra idealus pasirinkimas naudoti LPE procesuose, užtikrinantis išskirtinį šilumos paskirstymą ir apsaugą korozinėje ir aukštos temperatūros aplinkoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Kalbant apie puslaidininkių gamybą, Semicorex SiC padengta epitaksinio reaktoriaus statinė yra geriausias pasirinkimas, kad būtų užtikrintas puikus našumas ir išskirtinis šilumos paskirstymas. Padengtas didelio grynumo SiC, šis grafito gaminys pasižymi išskirtiniu atsparumu korozijai ir karščiui, todėl kiekvieną kartą užtikrina patikimus ir nuoseklius rezultatus.

„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų SiC dengta epitaksinio reaktoriaus statinė turi kainos pranašumą ir yra eksportuojama į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

SiC padengto epitaksinio reaktoriaus statinės parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto epitaksinio reaktoriaus statinės savybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.