Semicorex SiC danga EPI 3 1/4" Barrel Susceptor užtikrina puikų šiluminį stabilumą ir atsparumą cheminiam poveikiui, o grafito substratas pasižymi puikiomis šilumos perdavimo savybėmis.
Semicorex EPI 3 1/4" cilindrinis susceptorius yra aukštos kokybės grafito gaminys, padengtas didelio grynumo SiC, pasižymintis išskirtiniu atsparumu karščiui ir korozijai. Jis specialiai sukurtas LPE naudojimui puslaidininkių gamybos pramonėje.
Mūsų EPI 3 1/4" statinės susceptoriai yra skirti naudoti įvairiose pramonės šakose, įskaitant aviaciją, automobilius ir elektroniką. Esame įsipareigoję teikti aukštos kokybės produktus už konkurencingą kainą ir esame pasiryžę kurti ilgalaikius santykiai su klientais Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsųPadengtas SiCgrafito tigliai ir kaip jie gali būti naudingi jūsų verslui.
EPI 3 1/4" statinės susceptoriaus parametrai
Pagrindinės specifikacijosCVD-SICDengimas |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
EPI 3 1/4" statinės talpyklos savybės
SiC dangaužtikrina puikų šiluminį stabilumą ir atsparumą cheminiam poveikiui
Grafitinis substratas pasižymi puikiomis šilumos perdavimo savybėmis
Didelis tankis ir kietumas
Aukštas cheminis grynumas
Didelė šiluminė talpa
Aukšta sublimacijos temperatūra
Didelis lenkimo stiprumas
Aukštasis Youngo modulis
Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas
Aukštas šilumos laidumas